半自动酸洗清洗系统

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酸洗 RCA 清洗机

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公司介绍 主营产品

深圳正阳工业清洗设备有限公司成立于2008年，经过15余年来的发展，如今已在华东、西南、厦门等地区设立服务办事处。

公司通过了IS09001质量管理体系、IS014001环境管理体系和职业健康管理体系，是专精特新企业，拥有多项自主知识产权，与多所高校建立了长期技术研发合作关系。

公司集产品开发、生产、销售及提供高要求智能清洗整体解决方案于一体，致力于在智能清洗领域做专、做实、做精、做透、做特！

通过敬业、职业、专业的服务，深得客户的信赖，与上百家企业建立了长期的伙伴合作关系，赢得了市场和业界的尊重！

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RCA湿法清洗机，干法等离子清洗机等

湿法清洗技术，又可以分为化学方法和物理方法两个方向。

化学方法主要通过将硅片浸入不同的化学药剂从而达到清洗的目的，根据药剂的不同又有RCA清洗、改进RCA清洗、臭氧清洗、IMEC清洗等多条分支。

RCA清洗法是用于晶圆清洗的一种清洗工艺方法，也是目前工业界广泛采用的清洗工艺方法。

清洗的一般思路是首先去除硅片表面的有机沾污，因为有机物会遮盖部分硅片表面，从而使氧化膜和与之相关的沾污难以去除；然后溶解氧化膜，因为氧化层是“沾污陷阱”，也会引入外延缺陷；最后再去除颗粒、金属等沾污，同时使硅片表面钝化。