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全自动槽式智能清洗系统

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槽式清洗半导体

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深圳正阳工业清洗设备有限公司成立于2008年,经过15余年来的发展,如今已在华东、西南、厦门等地区设立服务办事处。


公司通过了IS09001质量管理体系、IS014001环境管理体系和职业健康管理体系,是专精特新企业,拥有多项自主知识产权,与多所高校建立了长期技术研发合作关系。


公司集产品开发、生产、销售及提供高要求智能清洗整体解决方案于一体,致力于在智能清洗领域做专、做实、做精、做透、做特!


通过敬业、职业、专业的服务,深得客户的信赖,与上百家企业建立了长期的伙伴合作关系,赢得了市场和业界的尊重!


RCA湿法清洗机,干法等离子清洗机等

1.一体化、模块化结构,占地小,容量大,清洗产能高;

2.空化效率高,清洗洁净度高;

3.分离式自动搬运机械手,高效稳定、便于维护保养;

4.配套均匀的气压鼓泡系统,有机结合超声波,满足市面任一种基板清洗特性;

5.可选配热能回收系统,大幅度降低能耗;

6.PLC+彩色人机界面控制,多层次密码权限,工艺参数随机可调,工作状态可视。


用于液晶板制程中切裂后的精密清洗干燥。

可提供多个槽体或单片进行化学药液或纯水,结合喷淋、溢流、快速冲洗等清洗方式,配合*的IPA干燥方式,可同时对25或50片进行工艺处理。




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