:CL 7500
- 公司名称 深圳市科时达电子科技有限公司
- 品牌
- 型号
- 产地
- 厂商性质 经销商
- 更新时间 2023/9/16 15:14:50
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本公司主要从事半导体进口设备及辅助材料、医疗检测设备等多领域的销售,是一家集研发、制造、销售为一体的企业。我们的主营业务涉及了研发销售及加工材料及周边产品;电子光电产品设备研发组装及销售,半导体仪器设备销售;国内贸易、货物及技术进出口;医疗器械研发及销售;医用耗材及医疗用品的销售等
:CL 7500
CL 7500系列技术参数:
激光介质 | ArF | KrF |
波长 (nm) | 193 | 248 |
脉冲能量 (mJ) | 100 | 250 |
重复率频率(Hz) | ||
CL7520 | 20 | |
CL7550 | 50 | |
大平均功率 (W) | ||
CL7520 | 2 | 5 |
CL7550 | 5 | 12.5 |
冲能量稳定性(sigma, %) | < 2 | |
光斑尺寸 (VхH, mm) | 20 х 6 | |
光束发散角(FWHM, mrad, VхH) | < 0.2 х 0.2 | |
脉冲持续时间 (FWHM, ns) | 20 | |
线宽(pm) | < 3 | |
空间相干性(mm) | > 5 | |
时间相干性(mm) | > 10 | |
冷却方式 | 水冷 | |
重量(kg) 没有光学表 | 450 | |
尺寸 (LхWхH, mm) | 2000 х 800 х 750 | |
电源 | 220/380 V, 50 Hz, < 7000 VA |
CL 7500主要特点:
MOPA激光系统(主振荡器功率放大器)
由两个激光器CL7020或CL7050基于单光平台组成
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应用:
布拉格光栅
激光诱导荧光技术