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退火炉

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公司介绍 主营产品

北京瑞科中仪科技有限公司专注半导体材料研究分析设备的研发和应用。专业的团队，专精的服务，提供理想的解决方案。

我们长期专注于半导体材料研究与分析设备的经销和代理，为高校、企业科研工作者提供专业的分析解决方案。以专业技能为导向，用科技来解决用户在科研中遇到的难题。专业的技术工程师和科研工作者进行现场演示和技术交流，打消顾虑，彼此协作，为我国的科研领域谱写新篇章。

北京瑞科中仪科技有限公司长期代理销售供应多种分子材料的研究分析设备，其中包括但不限于扫描电子显微镜、感应耦合等离子体化学气相沉积系统、离子束刻蚀机、等离子清洗机、物理气相沉积系统以及各品牌的光学显微镜以及实验室设备仪器。

客户至上的服务理念，以人为本的企业文化，我们始终为用户提供专业的服务！

合作丨共赢，选择我们，选择未来！

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半导体材料分析,材料刻蚀

应用领域	环保,化工,电子

退火炉是用于制造半导体元件的制程方法。该制程包括加热多个半导体晶片以影响其电性能。热处理旨在达到不同的效果。可以加热晶片以激活掺杂剂，使沉积的膜至密化，并改变生长的膜的状态。暴露在高温下可以修复损坏。该过程称为退火。炉子退火可以集成到其他炉子处理步驟中，例如氧化，也可以单独处理。

退火炉技术参数

应用領域	腔体
半導體。 MEMs。納米技術。 LED。太陽能電池產業。平板顯示器。	通過使用加圈和水冷不銹鋼法蘭來控製石英管的溫度。爐管配置：水平，結合傳送機構。帶有視窗的手動爐門。
配置和優點	選件
石英管尺寸：最大12英寸。單載片或多載片（最多50個晶圓）。控制精度：<±1°C。製程氣體：N2、Ar、H2。最高溫度：最高1700°C。抽氣閥件前端會有冷凍捕捉器。易於清潔和維護。	和自動傳送組成在一起。