BXC系列显微镜组件

一直以来，高品质的显微镜组件都是用户所值得信赖的“工作伙伴“，高效实用也一直都是Evident在显微镜组件开发上的追求。作为BX显微镜系列的一部分，全新BXC显微镜组件正式与大家见面，其结构紧凑，专为OEM集成和开发而设计。

同时，全新BXC系列显微镜组件，将以其多功能性和模块化构建，成为检测或成像应用的理想选择，无论是晶圆对准、凸块测量还是图像拼接，都可自如应对。

系统设计和自动化高级选项，

效率再提升

多功能定向暗场

暗场用于观察来自样品的散射或衍射光（例如：镜面或半导体晶圆上的划痕或缺陷），而MIX滑块无需专用的暗场光学组件，并通过16个可单独控制的LED增强了传统暗场，使您能够控制照射在样品上的光线方向。此外，这种通过使用MIX滑块实现的定向暗场技术，可以与明场、简单偏光或荧光观测相结合。

自动对焦装置

在BXC-FSU中，1级激光器使用主动多点传感来监测焦点位置的方向和焦点状态。这种传感器针对低对比度的样品（如裸晶圆）效果很好。算法可输出稳定的对焦信号，而不受物镜放大倍率和周边光线所造成噪音的影响。命令参考手册、指导手册和示例软件，之后可在我们的网站上自行下载。

多种多样的物镜转盘

随着自动化需求的增加，对电动物镜转盘的需求也随之增加。随着自动化需求的增加，对电动物镜转盘的需求也随之增加。现在，U-D5BDREMC-VA 1级无尘室兼容电动物镜转换器，将使用抽真空方式来清除灰尘和其他颗粒。

系统集成化，

快速、简单

BXC-CBRML和BXC-CBB控制盒占地面积小，无风扇，有多种安装方式（例如可安装到设备罩壳内的侧壁或顶部）

根据控制盒的不同，可将MIX滑块、明暗场照明器、电动物镜转盘和LED光源等功能集成在一起，并使用您的软件进行控制。