4156A 精密半导体参数分析仪

Agilent 4155B是新一代精密半导体器件参数分析仪。它拥有的数字扫描参数分析仪，

可靠的测试仪，强有力的故障，分析工具，自动检查设施；幸免综合至同参仪器中。

新产品的设计目标清楚地瞄准为亚微米几何尺寸器件评估提供前所未见的精度和功能。

它是一种可灵活使用的仪器，无疑对从材料评价至器件性牟的表征，乃至后封装等各

个阶段的部分检查和现场故障分析可提供诸多应用，以改进半导体器件的质量。

正确方案的抉择

Agilent 4155B设有四个内置源/监测单元（SMU），两个电压单元（VSU）

，两个电压监测单元（VMU），对于具有非开氏连接的基本半导体连接，

4155B可谓是选择，分辨为10fA/1μV测量范围为100mA/100V。

任何时候，均可增添41501B SMU和脉冲发生器扩展器。它由0V/1.6A接地单元馈送

可扩展接收两100mA/100V SMU或一个1A/200V SMU和两上同步40V/1μs脉冲发生器。

设定和测量

Agilent 4155B可使用许多测量单元，包括Agilent 41501B做阶梯，脉冲扫描测量，

采样（时域）测量，而无需变动连接。进而，对于可靠性评估还可做应力循环测量，

例如热载流子的注入和快速EEPROM测评。

可通过前面板键，键盘，或GPIB（SCPI命令）多种途径通过设置页面和添入空格进行

设定和测量，还可通过钮扫描功能进行短暂测量和查寻设定一类似于曲线描图仪。

显示和分析测量和分析结果显示在彩色的LCD上，可由4个图形存贮器做存贮器做存贮，

以便分析。比较。强有力的分析手段，使得很容易对诸如hFE,Vth等多种参数进行抽取。

一旦查得参数抽取条件，则可通过-自动分析功能自动地取得。输出和存贮

设定、测量，分析数据均可由GPIB，燕行或网络接口10Base-T LAN输出至彩色绘图仪和打印机，

也可通过网络或3.5寸盘存贮在MS-DOS或LIF格式文件中。Graphic (Agilent-GL,PCL功TIF）

输出文件还允许将图形转换为桌面出版软件。重复和自动测试

Agilent 4155B的 Agilent仪器BASIC控制器，可在无控制器的外部仪器构成自动测量系统。

4155B可通过多用触发I/O功能与外部仪器相同步。