泰勒霍普森轮廓仪代理

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CCI HD 非接触式光学3D轮廓仪简介

CCI HD 是一种非接触式光学 3D 轮廓仪，具有测量薄膜和厚膜的功能。 它采用享有新型关联算法，来查找由我们的精密光学扫描装置产生的干涉图的相干峰和相位。 这种新型的 CCI HD 整合了世界专业的非接触式尺寸测量功能和专业的厚薄膜测量技术。

CCI HD 除了提供尺寸和粗糙度测量功能，还可以提供两种类型的膜厚测量。 近年来厚膜分析被用于研究厚度至约 1.5 微米的半透明涂料；测量的厚度限制取决于材料的折射率和标的物的 NA。 测量较薄的涂层被证实为难度更高。现在通过干涉测量法可以研究厚度至 50 纳米（同样取决于折射率）的薄膜涂层。 采用这种新型方法，可以在单次测量中研究膜厚、界面粗糙度、针孔缺陷以及薄涂层表面的剥离等特性。

CCI HD 非接触式光学3D轮廓仪优势

2048 x 2048像素阵列，视场广，高分辨率

全量程0.1埃的分辨率

适用于0.3% - 100%的表面反射率

RMS 重复精度<0.2埃，阶跃高度重复精度<0.1%

多语言版本的64位控制和分析软件