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化工仪器网>产品展厅>半导体行业专用仪器>热工艺设备/热处理设备>退火炉>RTP-3-01 晶化快速退火炉 嘉仪通 半导体退火设备

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RTP-3-01 晶化快速退火炉 嘉仪通 半导体退火设备

具体成交价以合同协议为准
  • 公司名称 武汉嘉仪通科技有限公司
  • 品牌 其他品牌
  • 型号 RTP-3-01
  • 产地
  • 厂商性质 生产厂家
  • 更新时间 2023/6/24 16:55:06
  • 访问次数 246

联系我们时请说明是化工仪器网上看到的信息,谢谢!


武汉嘉仪通科技有限公司成立于2009年是以薄膜物性测量仪器作为战略定位,技术自主创新的国家新技术企业。公司集快速退火炉,霍尔效应测试,RTP,RTA,RTO,热电参数测试,Seebeck系数测试,电导率测试,热导率测试,相变温度分析,液氮低温恒温器等物性检测仪器和半导体工艺设备的研发、市场和技术服务于一体,且相继被评为湖北省“百人计划”及武汉市政府“城市合伙人”企业。

  武汉嘉仪通科技有限公司始终坚持自主研发与应用创新,拥有自己的技术工程师研发团队,建有省级工程实验室、新型研发机构以及市级企业技术中心平台,拥有知识产权100多项,主持承担参与了10余项国家科技攻关项目。2020 年,公司研发的“薄膜材料热特性测试技术及仪器”技术与产品荣获了“湖北省技术发明一等奖”。核心序列产品广泛应用于大专院校、科研院所、第三方检测机构和工业企业等细分领域,并服务于国内近500家客户。除此之外,核心产品还远销美国、英国、日本、澳大利亚、以色列、香港、澳门、中国台湾等20多个国家和地区,实实在在为新材料的科研和生产创造了价值。未来,公司依托省级科研共享平台的大数据分析,为世界各国用户的薄膜技术研究及战略方向提供理论依据与数据支撑。 

  武汉嘉仪通科技有限公司秉承技术创新、应用为上的行动准则,遵循“专注、创新、成长、勤勉”的核心价值理念,认真做好每一款产品,为客户提供合适的产品与优质的服务。最终实现公司愿景:和员工一起成长为薄膜(热)测量领域的先锋者!

 

快速退火炉,半导体退火设备,液氮低温恒温器,快速退火炉RTP

晶化快速退火炉  嘉仪通 半导体退火设备采用红外辐射加热技术,可实现1吋(选配2吋)样品快速升温和降温,同时搭配超高精度温度控制系统,可达到好的温场均匀性,对薄膜材料进行晶化快速退火处理,提高薄膜材料的均匀性及稳定性。

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晶化快速退火炉 嘉仪通 半导体退火设备产品特点:

快速加热和降温: 可控升温速率可达50 ℃/s,特定条件下可以达到100 ℃/s。冷壁水冷设计能够达到较大的降温速率,特定条件下可达30 ℃/s。

 精确控温: 采用工业级温控器进行PID精确控温,目标温度与设定温度曲线一致性高,可实现室温至1200 ℃的温度精确控制。

 适应多种工艺环境: 满足多种工艺气氛下的热处理(氮气、氩气等)。同时,通过选配真空泵,可以在真空条件下进行退火,真空度可达10-3Pa。

 配备观察窗口: 通过观察窗口,可以实时观察热处理过程中的样品变化。同时,可以结合相关测试方法进行原位测试分析。

 超高安全系数: 采用炉壁超温报警系统和冷却水流量报警系统,多方位保障仪器使用安全。

 国产退火炉:拥有自主研发技术和制造能力,能快速反应客户售后需求。

 

晶化快速退火炉技术参数:

 

型号

RTP-3-01系列

温度

1200℃

升温速率

50℃/s

温度均匀性

≦1%设定温度

温度控制

选用工业级温控器,控温精度±0.1℃

温度传感器

标准K型热电偶

降温速率

1200℃→400℃,200℃/min

400℃→100℃,20℃/min

(自然冷却)

样品尺寸

W20 x L20 x T2   (mm)

主机尺寸

W420X L320X   H220 (mm)

主机重量

20.5kg

 

晶化快速退火炉  嘉仪通 半导体退火设备客户案例:

 

清华大学使用嘉仪通1吋晶化快速退火炉给HfO2薄膜做晶化退火,得到晶相一致晶粒较小的晶体,提高薄膜材料的均匀性及稳定性

 


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