激光小角散射仪，通过收集和记录散射光的强度和角度信息，获得样品的亚微米级特征尺寸、粗糙度、分布等表面特性。配备低发散角的激光光源、高速高灵敏度的CCD探测器，兼容多样化的样品环境，轻松满足复杂多样的测试需求。
激光光源 | |
波长 | 390 nm-780 nm |
功率 | 1 W-100 W |
功率稳定性 | ＜1% |
发散角 | ＜0.015° |
样品架/样品台 | |
常规样品台 | 样品台在垂直于入射光路的Z（竖直）方向自动移动的行程：±10 mm精度不低于 1 μm，样品可精确对中；同时样品台X轴和Z轴，可沿着Y（光路）方向自动移动的行程±75 mm； |
多维度样品台 | X /Y轴行程±75 mm，Z轴行程±10 mm，精度1 μm； β、γ转角±7.5°，精度0.001°；α转角360°，精度0.001°； |
其他原位样品台 | 支持在各种原位环境下（温度、拉伸、梯度）等进行测试 |
探测器 | |
传感器 | CMOS |
像元尺寸 | 10 μm×10 μm |
信噪比 | 40 dB |
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