分子束外延薄膜沉积系统MBE

一、分子束外延薄膜沉积系统MBE 产品概述：

1. 分子束外延，是在超高真空系统中把所需要的结晶材料放入到喷射炉中，将喷射炉加热。使结晶材料形成分子束，从炉中喷出后，沉积在高温的单晶基片上。如果设置几个喷射炉，就可以制取多元半导体混晶，又可以同时进行掺杂。可以精确地控制结晶生长，进行沉积系统中结晶生长过程的研究。

二、分子束外延薄膜沉积系统MBE 技术参数：

1. 12个源炉：镓、铟、铝、砷、锑、磷、铋、硅、镁、掺杂等

2. 衬底：最大4inch

3. 最高温度：1000°C 温度均匀性：≤±3°C（4inch）

4. 超高真空下全自动样品转移

5. 用于过程控制和分析的所有现代现场监控功能

6. 一个集群上最多7个超高真空功能单元：装载、储存、翻转、处理、排气、生长，外部腔室

7.可连接其他分析设备或其他：ALD、PLD、PVD、金属化、STM......

三、企业简介：

深圳市矢量科学仪器有限公司是集半导体仪器装备代理及技术服务的高新技术企业。

致力于提供半导体制程工艺装备、后道封装装备、半导体分析测试设备、半导体光电测试仪表及相关仪器装备维护、保养、售后技术支持及实验室整体服务。

公司已授实用新型权利 29 项，软件著作权 14 项，是创新型中小企业、科技型中小企业、规模以上工业企业。