主动隔振平台STACIS IIIc
- 公司名称 上海倍蓝光电科技有限公司
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- 厂商性质 生产厂家
- 更新时间 2024/4/28 16:04:06
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概述
STACIS IIIc是STACIS III**主动隔振系统的紧凑型版本。它在减小的高度下提供了同样出色的隔振性能。
STACIS IIIc非常适合在没有或地板很低的活动地板上使用,因为标准STACIS III系统的高度会使仪器过高。
在三隔离器配置中,隔离器高度小于常规STACIS III高度的60%。在具有3个以上隔离器的系统中,高度将在60%到70%之间,具体取决于有效负载设置。有关详细信息,请参见下面的规格。
STACIS IIIc优势
与常规STACIS III系统相比,隔离器高度**多降低42%,而性能却没有降低。
STACIS比空气隔振器坚固数百倍,没有任何空气隔振系统的局限性。它没有“软”悬架,与主动空气系统不同,STACIS可以放置在带有内部主动空气隔振系统的工具下方,使两个系统都在**状态下运行。
的串行设计和专有的高力压电技术
可实现0.6 Hz至150 Hz的宽主动带宽和从2 Hz开始减振90%的**主动隔振性能。
性能
4500 lbs (2045 kg) payload tested with simulated vibration at VC-C
(500 μin./s, 12.5 μm/s RMS)
性能规格
规格
主动自由度 | 6 |
主动带宽 | 0.6 Hz - 150 Hz |
被动固有频率 | 18 Hz垂直和水平 |
有效的主动共振频率 | 0.5 Hz |
1 Hz时的隔振 | 40% - 70% |
≥2 Hz时的隔振 | ≥90% |
10磅(4.5千克)步进输入后的稳定时间 (减少10:1) | 0.3秒 |
内部噪音 | <0.1 nm RMSd> |
每个隔振器的工作负载范围 | 低承重能力:400 - 1100磅(181 - 499千克) 中等承重能力:900 - 2100磅(408 - 953千克) 高承重能力:1900 - 4500磅(862 - 2041千克) |
刚度(1000磅/454千克质量、中等承重能力隔振器) | 40,000磅/英寸(73 x 105牛/米) |
从距离隔振器**4英寸(102毫米)处发射的磁场 | <0.02 μG broadband RMSd> |
隔振器设计、尺寸、环境和效用要求
环境和安全 | 符合CE和RoHS标准 |
主动隔振元件 | **小承重能力为3300磅(1500千克)的压电致动器接收来自高压放大器的信号,其输出高达800 VDC。垂直执行器支撑隔振的有效载荷 |
被动隔振元件 | 单个硬质各向同性弹性体(无需压缩空气源) |
振动传感器元件 | 向下的地震检波器型惯性传感器,用于测量隔振器下方的地面振动,并提供与振动运动速度成正比的电压 |
主动反馈控制回路 | 在支撑隔振表面的弹簧下方测量、处理和衰减地面振动 |
隔振器尺寸(宽x深x高) | 14.45 x 14.26 x 6.16* in. 367 x 362 x 157* mm * Unloaded height. Loading may decrease height by up to 0.12 in. (3 mm). Systems with ≥4 isolators may require the addition of external wedge mounts that add 1.6 in. (41 mm) to the height. |
隔振器重量 | 53磅(24千克) |
工作温度 | 50° - 90° F 10° - 32° C |
储存温度 | -40° - 130° F -40° - 55° C |
湿度 | 30 - 60% |
系统电源要求 | 100、120、230、240 VAC 50/60 Hz AC; <600 W 符合CE标准 |
地面位移 | <480 μin. (12 μm) below 10 Hzd> |
每个系统的隔振器数量 | 至少3个 |
可选附件 | 层压不锈钢平台、框架、立管、调平装置、抗震装置、提升罩 |
DC-2020控制器规格
尺寸(宽 x 深 x 高) | 19 x 8.5 x 1.75英寸 483 x 216 x 45 mm |
重量 | 6.3磅(2.9千克) |
处理器 | 150/75 MHz双核 |
采样率 | 10 kHz |
模拟输出 | 16个通道 |
模拟输入 | 16个通道 |
状态灯 | 单个LED |
前面板端口 | 1个串行USB 2.0 1个串行Micro-USB 1个以太网RJ-45 2个BNC |
后面板端口 | 1个串行USB 2.0 1个以太网RJ-45 1个RS-232 DB-9传统串行,用于传统的STACIS 2100隔振器 |
用户界面 | 前面板液晶显示屏 超级终端上的字符菜单 适用于Microsoft Windows的扩展GUI 嵌入式以太网GUI |
STACIS用户及应用领域
1、微电子、半导体
▪ 晶片检测
▪ 显微光刻技术
▪ 掩膜校准
2、科学研究、纳米技术
▪ SEM、TEM
▪ STEM、SPM
3、激光台
▪ 生命科学、药物研发
4、工业应用
▪ 精密加工
为什么要选择主动系统?
▪ 从<1Hz开始强烈消除地面震动,气动平台在这一低频处无法起到有效的隔振
▪ 提高质量、生产量
▪ 更加细小特色的成像能力
▪ 前沿研究
▪ 比气动平台更稳定
▪ 满足SEM标准地点安装参数的**解决方案
▪ 使得新实验室及研究设备的工程造价更低
主动系统为何选择STACIS
▪ 正中了科研者的的心声,提供了尽可能**的无震环境。
▪ 市场上**强劲的低频隔振系统。
▪ 目前所有的SEM厂商都公布了安装参数要求,其需要的震动参数需要主动隔振系统才能满足。
▪ STACIS**发明于1990s,经TMC进一步发展,开发和安装了数以千计的主动隔振系统,这是主动隔振控制领域的提供的可靠解决方案。
STACIS相比气动隔离器刚性大几百倍
稳定时间作为对扰动的响应,由于的串联式设计,而大大缩短,理想应用于机械制造、动态负载、激光或者光源需要安装的独立刚性台面的情况下。
如下优势在业内都是**的
▪ STACIS的主动隔振带宽为0.6Hz -150Hz
▪ 6个自由度的主动震动消除,在1Hz时隔振8-10dB
▪ 从2-3Hz时,隔振可达90% (20dB)
专业的环境调查
1、安装前后的环境调查,包括震动、磁场、声波
2、安装后可提供环境系统体系认证
▪ 完善的环境调查服务
▪ 开具专业环境报告
▪ 提供震动、磁场、声波检测及解决方案
▪ TMC基于其广泛经验向用户推荐实用性方案
▪ 40多年的行业经验,业内的**
应用照片