V1000/V1000X/V1000XS 雅马拓YAMATO高频等离子清洗机表面清洁机
具体成交价以合同协议为准
- 公司名称 广州金程科学仪器有限公司
- 品牌 YAMATO/日本雅马拓
- 型号 V1000/V1000X/V1000XS
- 产地 重庆
- 厂商性质 代理商
- 更新时间 2024/2/27 18:01:22
- 访问次数 530
联系方式：谭真东13808866455 查看联系方式
联系我们时请说明是化工仪器网上看到的信息，谢谢!
| 产地类别 | 国产 | 应用领域 | 电子,电气 |
|---|
广州金程科学仪器公司供应的雅马拓YAMATO等离子清洗机V1000/V1000X/V1000XS，13.56MHz高频输出的等离子清洗机，搭载RIE·DP 双模式。硅晶圆的灰化及蚀刻、基板表面污垢处理、IC/LED封装、BGA/CSP基板处理、半导体相关部品的电子材料的干式清洗、自然氧化膜·有机物去除、界面活性处理、表面污染物去除。
雅马拓YAMATO高频等离子清洗机表面清洁机
仪器特点：
硅晶圆的灰化及蚀刻。
基板表面污垢处理。
IC/LED封装、BGA/CSP基板处理。
半导体相关部品的电子材料的干式清洗。
自然氧化膜·有机物去除。
界面活性处理。
表面污染物去除。
型号 | V1000 | V1000X | V1000XS |
等离子模式 | DP/RIE | ||
高频电源 | 13.56MHz | ||
输出功率 | Max1000W | Max1000&1500W | |
有效电极尺寸 | W280xD280mm | W300xD300mm | W400xD375mm |
电极 | 平行平板 | 2段电极（独立） | 平板（多目的） |
反应气体 | 聚合控制器2系统（填充气路另行安装） | ||
真空泵（标配） | 约1000L/min | 约1500L/min | 1000&1500L/min |
安全装置 | 门检测开关、连锁机构、紧急停止开关、温度过升防止器等 | ||
雅马拓YAMATO等离子清洗机V1000/V1000X/V1000XS信息由广州金程科学仪器有限公司为您提供。雅马拓YAMATO高频等离子清洗机表面清洁机
采购中心
化工仪器网