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D500 探针式轮廓仪 D-600

参考价	￥350000-￥10000000

具体成交价以合同协议为准

公司名称 深圳市今浩仪器设备有限公司
品牌其他品牌
型号D500
所在地成都市
厂商性质代理商
更新时间2023/4/14 14:10:01
访问次数 357

产品标签

轮廓仪台阶仪粗糙度

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今浩仪器设备有限公司是一家致力于向高科技企业、科研机构提供*实验分析仪器、设备的供应商，成立于2014年11月11日。我们不仅仅提供产品，我们还可以帮助客户在检测、分析和生产过程当中得到*、可靠的技术服务和解决方案。

从成立的那一天起，我们就把我们的优势和专注点集中于材料测试方面，其中包括材料的结构、元素分布、表面特征、物理化学特性以及光学、电学特性的分析。

今浩秉承服务，精益求精的宗旨，力求做到更好。我们始终以开放的沟通，完备的售前和售后支持，和专业水平高发展和维持着与客户长期稳定的良好合作关系

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纳米压痕，台阶仪，轮廓仪，激光共聚焦，白光干涉

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产地类别	进口	价格区间	面议
应用领域	化工,地矿,电子/电池,道路/轨道/船舶,综合

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产品描述

探针式轮廓仪 D-600 支持台阶高度和粗糙度的2D及3D测量，以及翘曲度和应力的2D测量。创新的光学杠杆传感器技术提供高分辨率测量，大垂直范围和低触力测量功能。

探针测量技术的一个优点是它是一种直接测量，与材料特性无关。可调节的触力以及探针的选择都使其可以对各种结构和材料进行精确测量。通过测量粗糙度和应力，可以对工艺进行量化，确定添加或去除的材料量，以及结构的任何变化。

QQ截图20220613151017.png

主要功能

台阶高度：几纳米至1200μm
低触力：0.03至15mg
视频：500万像素高分辨率彩色摄像头
梯形失真校正：消除侧视光学系统引起的失真
圆弧校正：消除由于探针的弧形运动引起的误差
紧凑尺寸：最小占地面积的台式探针式轮廓仪
软件：用户友好的软件界面

QQ截图20220613151850.png

主要应用

台阶高度：2D台阶高度和3D台阶高度
纹理：2D粗糙度和波纹度
形式：2D翘曲和形状
应力：2D薄膜应力

QQ截图20220613151856.png

工业应用

大学，研究实验室和研究所
半导体和复合半导体
SIMS：二次离子质谱
LED：发光二极管
太阳能
MEMS：微电子机械系统
汽车
医疗设备
还有更多：请与我们联系并探讨您的要求

应用

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台阶高度

探针式轮廓仪 D-600 能够测量从几个纳米到1200μm的2D和3D台阶高度。这使其可以量化在蚀刻、溅射、SIMS、沉积、旋涂、CMP和其他工艺期间沉积或去除的材料。 Alpha-Step系列具有低触力功能，可以测量如光刻胶的软性材料。.

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纹理：粗糙度和波纹度

Alpha-Step D-600测量2D和3D纹理，量化样品的粗糙度和波纹度。软件过滤功能将测量值分离为粗糙度和波纹度的部分，并计算诸如均方根（RMS）粗糙度之类的参数。

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形式：翘曲和形状

Alpha-Step D-600可以测量表面的2D形状或翘曲。这包括对晶圆翘曲的测量，例如在半导体或化合物半导体器件生产过程中，多层沉积层结构中层间不匹配是导致这类翘曲产生的原因。 Alpha-Step还可以量化包括透镜在内的结构高度和曲率半径。

QQ截图20220613152043.png

应力：2D薄膜应力

Alpha-Step D-600能够测量在生产包含多个工艺层的半导体或化合物半导体器件期间所产生的应力。使用应力卡盘将样品支撑在中性位置精确测量样品翘曲。然后通过应用Stoney方程，利用诸如薄膜沉积工艺的形状变化来计算应力。

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