GM10/100/1000 粉末原子层沉积

一、粉末原子层沉积核心参数：  

价格区间：100万-200万  

产地类别：国产原子层沉积系统（ALD）  

衬底尺寸：10g-1000g粉末  

工艺温度：RT-300℃  

前驱体数：2组反应气体8组液态或固态反应前驱体  

重量：300KG  

尺寸(WxHxD)：1150*1030*1850mm  

均匀性：在粉末表面实现均匀原子层包覆,包覆均一性<3%  

二、原子层沉积（Atomiclayerdeposition)是通过将气相前驱体脉冲交替地通入反应腔体内并在沉积基体上化学吸附并反应而形成沉积膜的一种技术，具有自限性和自饱和。原子层沉积技术主要应用是在各种尺寸和形状的基底上沉积高精度、无针孔、高保形的纳米薄膜。  

三、粉末原子层沉积产品描述：  

厦门韫茂科技公司的GM系列自动粉末原子层沉积设备它可以在微纳米粉体上实现均匀可控的原子层沉积或分子层沉积生长，GM1000的反应室可自动运行ALD(原子层沉积)或MLD(分子层沉积)，设备配有独立控制的300℃完整加热反应腔室系统，保证工艺温度均匀。该系统具有粉末样品桶、动态粉末流化机构、全自动温度控制、ALD前驱体源钢瓶、自动温度控制阀、工业级安全控制，以及现场RGA、QCM、臭氧发生器、手套箱等设计选项。是先进能源材料、催化剂材料、新型纳米材料研究与应用的最佳研发工具。  

四、售后服务：  

保修期：1年  

是否可延长保修期：否  

现场技术咨询：有  

免费培训：1.设备出厂前，提供至少2人一周的设备原厂培训。2.设备在现场完成安装调试  

免费仪器保养：有需要可安排  

保内维修承诺：保修期内（除天灾和人为损害外）部件、元件费用、出差费用均由我司承担

报修承诺：质保期内出现故障时我司将及时响应，并在8小时内派技术人员到现场解决故障  

五、技术参数：