QBT-J 全自动四腔超高真空双倾角镀膜系统

一、核心参数：  

价格区间：200万-300万  

仪器种类：电子束蒸发镀膜机  

产地类别：国产  

应用领域：微电子学  

基片尺寸：4寸（可定制）  

靶材：AL  

基片温度范围：RT-900ºC  

成膜厚度均匀性：均一性<3%  

极限真空：<1E-9Torr  

二、约瑟夫森结超高压系统：  

全自动四腔超高真空双倾角镀膜系统专专业制备约瑟夫森结制备，可精确生长所需的金属层和氧化绝缘层，确保高性能制备及高成品率；此镀膜仪有进样室、氩离子清洗室、电子束蒸发室以及氧化室，共计四个高真空腔室，腔室间使用传样杆进行高真空传样，传递模组须采用抓取式设计；设备所有工艺均支持4英寸及以内的晶圆或不规则样品。设备整个工艺过程，可以按照用户设置的参数自动化运行，工艺流程包括并不限于：抽真空，监测气压，离子清洗，样品位置调节、传样，加热，电子束蒸发特定厚度设置，自动调整气压等。  

三、厦门韫茂科技有限公司为您提供全自动四腔超高真空双倾角镀膜系统QBT-J的参数、价格、型号、原理等信息，QBT-J产地为福建、品牌为韫茂，型号为QBT-J，价格为200万-300万RMB，更多相关信息可咨询，公司客服电话7*24小时为您服务。  

四、售后服务：  

保修期：1年  

是否可延长保修期：否  

现场技术咨询：有  

免费培训：1.设备出厂前，提供至少2人一周的设备原厂培训。2.设备在现场完成安装调试  

免费仪器保养：有需要可安排

保内维修承诺：保修期内（除天灾和人为损害外）部件、元件费用、出差费用均由我司承担

报修承诺：质保期内出现故障时我司将及时响应，并在8小时内派技术人员到现场解决故障

五、技术参数：