晶圆烘箱 MES无氧烤箱 三清仪器定制

型    号

SKCOL-9070A*4

工作室尺寸

W400 * D350 * H500 MM

总消耗功率

2.0 KW

洁 净 度

Class 100

（立方英尺0.5UM颗粒数小于100，立方米0.5UM颗粒数小于3520）

容 积（L）

70 L

温   度

RT+20 ～ +250℃

配 置

P.I.D控温 三色灯，急停按钮

工作室容积

（400mm×350mm×500mm ）(W宽×D深×H高）

工作温度范围

RT+20 ～ +250℃

升温速率

5℃/min （空载，非线性）

温度偏差

≤±1℃(空载，恒定状态时)

温度精度/分辨率

±0.1℃

温度波动度

±1℃(空载，恒定状态时)

温度均匀性

±1.5%(空载，恒定状态时) 200℃时误差为±3℃

时间定时范围

0 – 9999 小时，分钟，秒

洁净等级

Class100

立方米≥0.5UM尘粒≤35000 /立方英尺≥0.5UM尘粒≤1000

总功率

2.5 KW

电源

220V 50Hz （三相五线）

电源线

2.5米

结构方式

整体结构采用单门立式结构，控制柜位于箱体上方，外壳采用A3冷轧钢板裁剪、打磨、酸洗、磷化等表面防锈处理后喷塑，工作室采用SUS304洁净不锈钢板满焊、耐高温密封处理，内部光亮整洁，自身洁净不产尘。

材料构成

1.外壁材料：1.5mm厚度3A冷轧钢板静电双面喷塑，颜色为工业白。

2.内壁材料：2.0mm厚SUS304镜面洁净不锈钢板。

3.绝热材料：100mm厚120K高密度硅酸铝纤维保温材料。

结构强度

箱底板承重能力：≤130Kg（均匀负载）

柜门

1．单开门结构，门框镶嵌耐高温硅橡胶密封条。

2．拉手采用拉杆式安全防爆拉手。

配置

1．风道位于箱体顶部与背部，高效过滤器H.E.P.A位于箱体风道内部。

2．热风经过H.E.P.A进入干燥箱内部，再循环至顶部进入风道，往复循环。

3．三相异步长轴耐高温长轴马达，带相序保护，超温过流保护。

4．不锈钢涡轮扇叶，出厂经动平衡调校，确保送风平稳。

5．排风口：不锈钢排风管，带自动风阀，排风管位于箱体背部。

工作方式

设备启动，鼓风装置持续运行，箱内热风循环。

配置

1．耐高温高效过滤器，过滤等级H13 (99.97% - 99.99% @0.3um）

2．采用进口耐高温超细纤维芯材，连续耐温350℃，铝箔隔层，陶瓷胶密封

3．边框配置玻璃纤维耐高温密封条

工作方式

设备启动，热风循环启动，热风通过高效过滤器H.E.P.A实现箱内自净化。

工作室

独立式工作室超温保护器

加热系统

欠压、超压保护.过流保护.加热器断线保护.超温保护

热风循环系统

相序保护.缺相，欠压保护.过热，过载，过流保护

电源系统

电源缺相及相序错误保护.漏电保护.加热器超温保护.加热器短路过流保护

其他

设备外壳接地保护，电磁门禁系统