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化工仪器网>产品展厅>测量/计量仪器>长度计量仪器>其它长度计量仪器>FTPadv 台式薄膜探针反射仪

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FTPadv 台式薄膜探针反射仪

具体成交价以合同协议为准

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北京瑞科中仪科技有限公司专注半导体材料研究分析设备的研发和应用。专业的团队,专精的服务,提供理想的解决方案。

我们长期专注于半导体材料研究与分析设备的经销和代理,为高校、企业科研工作者提供专业的分析解决方案。以专业技能为导向,用科技来解决用户在科研中遇到的难题。专业的技术工程师和科研工作者进行现场演示和技术交流,打消顾虑,彼此协作,为我国的科研领域谱写新篇章。

北京瑞科中仪科技有限公司长期代理销售供应多种分子材料的研究分析设备,其中包括但不限于扫描电子显微镜、感应耦合等离子体化学气相沉积系统、离子束刻蚀机、等离子清洗机、物理气相沉积系统以及各品牌的光学显微镜以及实验室设备仪器。

客户至上的服务理念,以人为本的企业文化,我们始终为用户提供专业的服务!

合作丨共赢,选择我们,选择未来!

 

半导体材料分析,材料刻蚀

产地类别 国产 应用领域 环保,化工,电子

台式薄膜探针反射仪

简易的膜厚测量

通过选择合适的配方,FTPadv反射仪以小于100ms的测量速度、精度小于0.3nm、厚度范围为50nm-25μm的精度进行厚度测量。

自动建模

通过测量反射光谱和光谱数据库的比较,将测量误差减到很小。

光谱椭偏SE为基础的材料数据库

基于SENTECH精确的椭偏光谱测量的大型材料库为测量新材料的光学常数提供了配方。

应用

二十年来,SENTECH已经成功地销售了用于各种应用的薄膜厚度探针FTPadv。这种台式反射仪的特点是不管在低温或高温下,在工业或研发环境中,都能通过远程或直接控制,对小样品或大样品进行实时或在线厚度测量。


台式反射仪FTPadv精确、可重复地测量反射和透明衬底上透明和弱吸收膜的厚度和折射率。FTPadv可以结合在显微镜上,或者配备有稳定的光源,用于测量厚度达到25 µm (根据要求可更厚)的膜层。更具备了从SENTECH光谱椭偏仪经验中受益的预定义的、经由客户验证的、以及随时可以使用的应用程序的广泛数据库。

FTPadv的特征在于对来自叠层样品的任何膜层的厚度进行测量,使得FTPadv成为膜厚测量的理想成本效益的解决方案。用于工艺控制的FTPadv包括具有采样器的光纤束、具有卤素灯的稳定光源以及FTP光学控制站。局域网连接到PC允许了远程控制的FTPadv在工业应用,如恶劣环境,特殊保护空间或大型机械。

反射仪FTPadv带有大量预定义的配方,例如半导体上的介质膜、半导体膜、硅上的聚合物、透明衬底上的膜、金属衬底上的膜等等。自动建模特性允许通过与光谱库的快速比较来检测样本类型。该反射仪将操作误差减到很小。用光学反射法测量膜厚从未如此容易。

SENTECH FTPadv菜单驱动的操作软件允许单层和叠层结构的厚度测量,具有操作指导。此外,它还具有强大的分析工具和出色的报告输出功能。附加的自动扫描软件可用于控制电动样品台。将软件升级到用于反射测量的高级分析的软件包FTPadv EXPERT,即可应用于具有未知或不恒定光学特性的材料。因此,单层薄膜厚度测量以及折射率和消光系数分析是可实现的。


FTPadv for industrial quality controlFTP_largeMeasurement of photoresists thicknessFilm thickness probe with microscope upgrade
    SENTECH FTPadv菜单驱动的操作软件允许单层和叠层结构的厚度测量,具有操作指导。此外,它还具有强大的分析工具和出色的报告输出功能。附加的自动扫描软件可用于控制电动样品台。将软件升级到用于反射测量的高级分析的软件包FTPadv EXPERT,即可应用于具有未知或不恒定光学特性的材料。因此,单层薄膜厚度测量以及折射率和消光系数分析是可实现的。


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