ALD实时监测仪RTM

ALD实时监测仪RTM

ALD实时监测仪的优势

工艺开发与优化

使用单一ALD循环可快速和简易地开发和优化ALD工艺。ALD实时监测仪显示了高达40ms分辨率的吸附和解吸过程。显著节省了研发时间，衬底，前驱体和气体。

节省前驱体

通过ALD实时监测仪，ALD工艺变得更加有效。节省了前驱体和工艺时间。

前驱体控制

当前驱体供应快要用尽时，ALD实时监测仪会立即检测到的每个周期的增长变化。

SENTECH ALD实时监测仪是一种新型的光学诊断工具，是心灵超高分辨率的单一ALD循环。在不破坏真空的条件下分析薄膜特性(生长速率，厚度，折射率)，在短时间内开发新工艺、实时研究ALD循环中的反应机理是SENTECH ALD实时监测仪的主要应用。

创新的ALD实时监测仪是特别为快速和有效的工艺开发而设计，可优化SENTECH原子层沉积设备。该软件使SENTECH ALD系统和ALD实时监测仪易于操作。ALD实时监测仪集成到SENTECH ALD系统软件中，确保操作简单。