SR-Mapping反射膜厚仪

一、概述

       SR-Mapping 系列利用反射干涉的原理进行无损测量，通过分析薄膜表面反射光和薄膜与基底界面反射光相干涉形成的反射谱，同时搭配R-Theta位移台，兼容6到12寸样品，可以对整个样品进行快速扫描，快速准确测量薄膜厚度、光学常数等信息，并对于膜厚均匀性做出评价。

■ 光学薄膜测量解决方案；

■ 非接触、非破坏测量；

■ 核心算法支持薄膜到厚膜、单层到多层薄膜分析；

■ 膜厚重复性测量精度：0.02nm

■ 全自动测量，测量点数跟位置在Recipe中可根据需要编辑 

■ 采用高强度卤素灯光源，光谱覆盖紫外可见光到近红外范围；

■ 采用光机电高度整合一体化设计，体积小，操作简便；

■ 基于薄膜层上界面与下界面的反射光相干涉原理，轻松解析单层薄膜到多层；

■ 配置强大核心分析算法：FFT分析厚膜、曲线拟合分析法分析薄膜的物理参数信息；

三、产品应用 

广泛应用于各种介质保护膜、有机薄膜、无机薄膜、金属膜、涂层等薄膜测量。

技术参数