赛默飞EscaLabXi+ X射线光电子能谱仪

赛默飞EscaLabXi+ X射线光电子能谱仪特点：

高灵敏度能谱

小面积 XPS

深度剖析能力

角分辨 XPS

标配离子散射能谱 (ISS)功能

标配反射电子能量损失谱 (REELS)功能

标配“样品预处理"室

多技术分析的多功能性

多个样品制备技术可选

全自动无人值守式分析

多样品分析

单色化X射线源

双晶体微聚焦单色器配备一个 500 mm 直径的罗兰圆，使用铝阳极靶

样品 X 射线光斑尺寸可选择范围为 200 至 900 μm

透镜、分析仪和检测器

透镜、分析仪和检测器构成XPS检测系统+XPS光谱仪在成像和微区方面的分析能力都是单一的

两种类型的检测器可以确保为每种分析提供最佳检测——用于成像的二维检测器和适用于高计数率检测的电子倍增器

透镜配备了两个电脑控制的虹膜机构 - 一个允许用户将透镜的视野控制在<20μm以下进行微区分析，另一个控制透镜的接收角度，以便获得高质量角度分辨数据

180° 半球型能量分析器

深度剖析

数控式 EX06 离子枪是一款高性能的离子源，哪怕在使用低能离子源时也有着很好的性能

提供方位角样品旋转

多技术能力

可配备其他分析技术而不降低 XPS 检测性能

使用 EX06 离子枪时透镜组和能量分析仪的电源可反向（确保离子散射能谱 (ISS) 可用）

电子枪可加压升至 1000 V，为 REELS 提供优异的离子源

技术选项

非单色化 X 射线光源的XPS分析

AES（俄歇电子能谱）

UPS（紫外光电子能谱）

赛默飞EscaLabXi+ X射线光电子能谱仪真空系统

5 mm 厚高导磁?金属分析室，提高磁屏蔽效率

与使用内部或外部屏蔽的方法相比，屏蔽效能更佳

样品制备

系统标配一体化的快速进样室和制备室

额外的制备室可选

Avantage 数据系统

集成了测试分析的所有方面，包括仪器控制、数据采集、数据处理和报告生成

允许远程控制，并且可轻松与第三方软件交互（例如 Microsoft Word）

管理从样品载入到报告导出的整个分析过程