ACU20FDH-LH 热式高温分体气体质量流量控制器及流量计
- 公司名称 北京精量科技有限公司
- 品牌 Accu
- 型号 ACU20FDH-LH
- 产地
- 厂商性质 生产厂家
- 更新时间 2024/4/2 9:46:58
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2、带有定制的高速比例控制阀对介质体积流量/质量流量进行精确控制；
3、带可触摸显示屏，操作方便，带有模拟输入输出和RS-485Modbus数字通讯，通讯协议可定制（Profibus，DeviceNet等）；
4、内部无可移动的组件和热元件，通过抗振动测试，对安装方向不敏感；
5、精度1%、重复性0.2%及不到200毫秒的控制响应时间，确保过程气体/蒸汽正常工作。
6、可适用于多种高温气体或蒸汽场景，尤其是对半导体或真空设备等工况要求较特殊的使用场景。
| 产地类别 | 国产 | 产品种类 | 质量式 |
|---|---|---|---|
| 价格区间 | 面议 | 介质分类 | 气体 |
| 应用领域 | 化工,生物产业,电子,电气,综合 | 气体满量程范围 | 2SCCM~300SLM |
| 最大工作压力 | 3MPa/10MPa | 是否带显示 | 带显示屏 |
一、热式高温分体气体质量流量控制器及流量计 产品概述：
u 可快速精确测量高温气体的体积流量/质量流量
u 采用定制的高速比例控制阀对介质体积流量/质量流量进行精确控制
u 超大可触显示屏，操作方便同时开放模拟输入输出和RS-485数字通讯
u 内部无可移动组件和热元件，通过抗振动测试，对安装方向不敏感
u 采用内部补偿型层流压差技术，使得大流量范围下流体仍旧保持层流运动
u 提供良好的用户支持，包括技术咨询、快捷的设备校准服务和有条件的终身质保。
二、产品应用：
-- 热式高温分体气体质量流量控制器或质量流量计 已广泛应用于各行业领域，如：工艺制造、沉积设备、配气制气等使用高温气体的场景。
-- 多变量测量以及50:1量程可调比，使得仅用一台热式高温分体气体质量流量控制器及流量计便可取代多台设备的功效。
-- 精度0.5%FS、重复性0.5%及不到200毫秒的控制响应时间，确保高温的过程气体可以流畅的工作。
三、热式高温分体气体质量流量控制器及流量计 技术参数：
技 术 指 标 | 质量流量控制器 | 质量流量计 | |
量程范围 | 2SCCM~300SLM | ||
精度 (调零后标准条件下) | ±0.5%F·S（满量程） | ||
重复精度 | ±0.5%F·S | ||
流量控制比 /测量范围 | 2%~100%F·S/50：1 | 1%~100%F·S/100：1 | |
工作温度 | 过流部分：（90~150℃），控制部分：0~70℃ | ||
漏率 | ＜2×10-9 Pa m³/S | ||
机 械 部 件 | 最大工作压力 | 3 MPa / 10MPa | |
密封材质 | 氟橡胶、全氟醚、金属密封 | ||
防护等级 | IP40 | ||
底座材质 | 不锈钢 | ||
气路接头 | φ6，φ8，φ10，φ12，卡套、VCR等 | ||
电 气 性 能 | 单色LCD显示屏 | 同时显示实时流量、设定流量 | |
数字通讯 | 可选：RS232/485，Modbus协议、Profibus协议、DeviceNet协议 | ||
模拟输入输出信号 | 0~5VDC/4~20mA | ||
电信号接口 | B9孔, RJ11, 5.5×2.1电源快插 | ||
供电电压 | ±15VDC，24VDC | ||
采购中心
化工仪器网