4200A-SCS 吉时利全自动半导体参数分析仪

吉时利全自动半导体参数分析仪4200A-SCS参数分析仪

吉时利全自动半导体参数分析仪4200A-SCS参数分析仪

加快各类材料、半导体器件和*工艺的开发，完成制程控制、可靠性分析和故障分析。4200A-SCS是业内性能电学特性参数分析仪，提供同步电流电压曲线测试(I-V曲线测试)、电容-电压曲线测试(C-V曲线测试)和超快脉冲I-V曲线测量。

　　主要性能指标

　　I-V源测量单元(SMU)

　　●±210 V/100 mA或±210 V/1 A模块

　　●100 fA测量分辨率

　　●选配前端放大器提供了0.1 fA测量分辨率

　　●10 mHz-10 Hz超低频率电容测量

　　●四象限操作

　　●2线或4线连接

　　C-V多频率电容单元(CVU)

　　●AC阻抗测量(C-V,C-f,C-t)

　　●1 kHz-10 MHz频率范围

　　●±30 V(60V差分)内置DC偏置源，可以扩展到±210 V(420 V差分)

　　●选配CVIV多功能开关，在I-V测量和C-V测量之间简便切换

　　脉冲式I-V超快速脉冲测量单元(PMU)

　　●两个独立的或同步的高速脉冲I-V源和测量通道

　　●200 MSa/s，5 ns采样率

　　●±40 V(80 V p-p)，±800 mA

　　●瞬态波形捕获模式

　　●任意波形发生器Segment ARB®模式，支持多电平脉冲波形，10ns可编程分辨率

　　高压脉冲发生器单元(PGU)

　　●两个高速脉冲电压源通道

　　●±40 V(80 V p-p)，±800 mA

　　●任意波形发生器Segment ARB®模式，支持多电平脉冲波形，10ns可编程分辨率

　　-V/C-V多开关模块(CVIV)

　　●在I-V测量和C-V测量之间简便切换，无需重新布线或抬起探针

　　●把C-V测量移动到任意端子，无需重新布线或抬起探针

　　远程前端放大器/开关模块(RPM)

　　●在I-V测量、C-V测量和超快速脉冲I-V测量之间自动切换

　　●把4225-PMU的电流灵敏度扩展到数十皮安

　　●降低电缆电容效应

　　4200A-SCS-PKA高分辨率IV套件

　　4200A-SCS：参数分析仪主机

　　4201-SMU：两个用于高容量设置的中功率SMU

　　4200-PA：一个预放大器

　　8101-PIV：一个带有采样装置的测试夹具

　　4200A-SCS-PKB高分辨率IV和CV套件

　　4200A-SCS：参数分析仪主机

　　4201-SMU：两个用于高容量设置的中功率SMU

　　4200-PA：一个预放大器

　　4215-CVU：一个高分辨率多频C-V单元

　　8101-PIV：一个带有采样装置的测试夹具

　　4200A-SCS-PKC高功率IV和CV套件

　　4200A-SCS：参数分析仪主机

　　4201-SMU：两个用于高容量设置的中功率SMU

　　4211-SMU：两个用于高容量设置的高功率SMU

　　4200-PA：两个预放大器

　　4215-CVU：一个高分辨率多频C-V单元

　　8101-PIV：一个带有采样装置的测试夹具

　　4200-BTI-A超快NBTI/PBTI套件

　　用于使用硅CMOS技术进行的复杂NBTI和PBTI测量

　　4200-BTI-A套件包括：

　　1个4225-PMU超快I-V模块

　　2个4225-RPM远程预放大器/开关模块

　　自动化检定套件(ACS)软件

　　超快BTI测试项目模块布线