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化工仪器网>产品展厅>半导体行业专用仪器>干法工艺设备>等离子体刻蚀设备>VP-RS15 等离子刻蚀机

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VP-RS15 等离子刻蚀机

参考价5000.00
具体成交价以合同协议为准
  • 公司名称 广州善准科技有限公司
  • 品牌SUNJUNE/善准科技
  • 型号VP-RS15
  • 所在地广州市
  • 厂商性质生产厂家
  • 更新时间2025/5/14 14:45:17
  • 访问次数 1340
规格
真空泵配件5000.00元10 台 可售

联系方式:善准科技查看联系方式

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广州善准科技有限公司(Guangzhou SunJune Technolog Co.,Ltd)位于中国广州,专注于真空等离子处理仪、旋转型真空等离子处理仪和石英管真空封管机及配套的分子泵机组的研究、开发和制造。善准人经过多年的刻苦钻研,成功获得“一种低温旋转型石英等离子表面处理装置:202020226847.2”、“一种旋转真空密封石英管装置:2019213711508”等十项国家技术及软件著作权。善准科技成功注册了“SUNJUNE”和“SUNJUNE PLASMA”两个商标,善准真空等离子处理仪和真空封管机已广泛用于各行各业,国内的高校科研机构——中科院物理所、中科院化学所、中国工程物理研究院、清华大学、北京大学、复旦大学、哈工大、西工大、国防科大等均有配备,使用善准真空等离子处理仪和真空封管机参与做实验的多篇高质量论文发表在《Nature》等期刊





PLASMA等离子清洗机,等离子体表面处理仪,等离子去胶机,等离子刻蚀机,真空封管机,石英管真空密封机,分子泵机组,高真空分子泵组,涡轮分子泵

样品腔尺寸 32cm*25cm*20cm 样品腔容积 15L
样品腔材质 不锈钢 射频频率 13.56MHz
射频功率 500W 功率调节 连续可调
工作气路 2路 控制方式 自动
操作控制 触摸屏控制 清洗时间 0~1800s可调
泄压 自动泄压

      等离子刻蚀机VP-RS15对标国际一线厂家,补充国内技术空白(真空不锈钢腔体等离子清洗装置),真空腔体不锈钢材质,功率500W,频率13.56MHz,能对材料起到清洁、刻蚀、活化、改性的作用,满功率运行3分钟,腔体温度不高于45℃,不损伤样品,适用于晶圆去胶、煤灰化、碳毯(CF)、微流控芯片PDMS键合、ITO导电玻璃、石墨烯、纤维、单晶硅片、PET、二氧化硅等几乎所有材料的PLASMA处理。

      广州善准科技有限公司(Guangzhou SunJune Technolog Co.,Ltd)位于中国广州,专注于等离子刻蚀机、真空等离子处理仪、旋转型真空等离子处理仪、旋转型等离子体低温灰化仪和石英管真空封管机的研究、开发和制造。善准人经过多年的刻苦钻研,抽丝剥茧,反复测试、成功获得“一种低温旋转型石英等离子表面处理装置:ZL202020226847.2)”等十项国家技术及软件著作权,成为国内掌握产生13.56MHz频率,保证满功率清洗30分钟真空腔体内温度不超过32摄氏度的等离子生产厂家,应用此技术的VP-R系列迅速成为行业“爆款”,补充国内技术空白,性能比肩一线厂家;研发生产的旋转型真空等离子处理仪和旋转型等离子体低温灰化仪成功推出,进一步巩固了善准科技在真空等离子清洗机行业的地位;而回应市场需求,解决样品在无氧无水条件下进行PLASMA处理的痛点而推出的手套箱专用分体式真空等离子处理仪,则验证了善准人与时俱进的研发能力和敢为人先的风格;VS-Q系列石英管封管机解决实验室安全、简易地真空密封石英管的难点,是对石英管真空密封技术的重新定义。

等离子刻蚀机

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