美国 BROOKS SLA5850S1BAB1C2A1 气体流量计

美国 BROOKS SLA5850S1BAB1C2A1 气体流量计

美国 BROOKS SLA5850S1BAB1C2A1 气体流量计

降低拥有成本

SLA5800系列允许多气体和多量程

减少客户库存的能力。存储和

预编程多达10个气体校准轻松

允许用户在不同的气体和

单个设备上的范围。

共面阀的选择

共面阀选项提供

的性能。由于其简化的结构，

阀门具有优越的旋转、重复性和稳定性

和响应时间

规范

性能特点:

流量范围

模型SLA5850 / SLA5860

任何FS范围从0-3 ccm到0-30 lpm (N2 eq.)

*高达0-50 lpm (N2

Eq .) w/共面阀选项

模型SLA5851 / SLA5861

任何FS范围从20-100 lpm (N2

情商)。

高达200 lpm H2

流可能

模型SLA5853 / SLA5863

任何FS范围为100-2500 lpm (N2

情商)。

控制范围

翻领50:1

共面阀选项下压100:1

(任何FS范围为1-50 lpm (N2 eq.))

准确性(N2

Eq.在校准条件下)。

±1.0%的速率(20% - 100% FS)

±0.2% FS(低于20% FS)至1100 lpm。

(可选:±0.7%速率±0.2% FS(“s系列”)至

1100行分钟。

流量范围在1100 lpm和2500 lpm以上:

±1.0%满量程。

可重复性

±0.20%的利率。

沉降时间/响应时间

小于1秒至a的最终值±2% FS内

0-100%命令步长(根据要求更好)

对于流量高达100 lpm (N2 eq.)。

小于3秒，在±2% FS的最终值a

0-100%命令步长(根据要求更好)

对于流量大于100 lpm (N2

Eq .)到2500

行分钟(N2

情商)。

对安装姿态的敏感性

FS与精度的最大偏差<0.2%

后重新调零。

评级:

温度敏感性

0:低于0.05% FS /℃

跨度:小于0.05% FS /°C

压力敏感性

±0.03%每psi高达200 psig (N2 eq.)。

最大工作压力

见下表1:

可选4500 psig (300 bar)为50,60和61系列

身体只有。

压差范围(控制器)

模型SLA5850

5 psi (0.35 bar)至30 lpm (N2

情商)。

30 psi (2.07 bar)从30 lpm到50lpm (N2

情商)。

共面阀选项

模型SLA5851

10 psi (0.69 bar)从30 lpm到100 lpm (N2

情商)。

模型SLA5853

7.5 psi (0.52 bar)在500 lpm (N2

情商)。

14.5 psi (1.00 bar)在1000 lpm (N2

情商)。

35.0 psi (2.41 bar)在2500 lpm (N2

情商)。

高压高压阀30 psi (2.07 bar)至290 psi(最大20 bar)

低压阀7.5 (0.52 bar)至30 psi (2.07 bar max.)

最大:

SLA5850型共面阀250psi (17-24 bar)

最小和最大压降取决于气体和

FS流量(咨询工厂)..

泄漏完整性

从内到外:1x10-9 atm scc/秒氦最大。

环境温度范围

工作:0°C至65°C(32°F至149°F)

非工作状态:-25°C至100°C(-13°F至212°F)

流体温度限制

0°C至65°C(32°F至149°F)

物理:

材料的建筑

湿件。不锈钢带

氟橡胶®氟橡胶

可选:丁纳- n, Kalrez®，特氟龙®/Kalrez和EPDM

轮廓尺寸

参考大纲图，图1至图9

过程连接

参考大纲图，图1至图9

布鲁克斯仪器在世界各地提供销售和服务设施。

*当地的销售和服务办公室提供校准设施。我们当地的度量衡认证

并可追溯相关国际标准。

启动服务和现场校准

*布鲁克斯仪器可在作业前提供启动服务，如有必要，在现场条件下

检测结果可追溯至相关国际质量标准。

客户研讨会及培训

* Brooks®可为工程师、最终用户和维护人员提供客户研讨会和专门培训。

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