LSCE-800接触式曝光机
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- 公司名称 河南海恒实业有限公司
- 品牌 其他品牌
- 型号
- 产地
- 厂商性质 代理商
- 更新时间 2022/9/13 14:41:33
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一、产品简介:
接触式曝光机指掩膜板直接与基板的光刻胶层接触,曝光出来的图形与掩膜板上的图形分辨率相当精确,设备简单,最小线宽可达800nm;可以配合使用多种型号的正光阻和负光阻;适用于从特殊大小的基片到4尺寸很宽广范围材料的紫外或深紫外光曝光。可广泛应用于半导体制造,光电电子,平板,射频微波,衍射光学,微机电系统,凹凸或覆晶设备和其他要求精细印制和精度对准的应用。
二、应用领域:
半导体制造;光电电子、平板;射频微波,衍射光学;微机电系统;凹凸或覆晶设备等。
三、产品特点:
l 分辨率相当精确;
l 更广范围的紫外光波长选择;
l 支持恒定光强或恒定功率模式;
l 广泛应用于半导体、微电子、生物器件和纳米科技领域;
四、详细参数:
晶片尺寸 | 4英寸、6英寸、8英寸 |
曝光光源 | 365nm、380nm、395nm三种波长的LED集成光源 |
分辨率 | 3μm |
对准精度 | 300 nm |
缩放倍率 | 1:5 |
曝光方式 | 接触式曝光 |
特征尺寸均匀性(CDU) | ±10% |
尺寸 | 170 cm*130 cm*180 cm |
河南海恒实业有限公司