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化工仪器网>产品展厅>半导体行业专用仪器>光刻及涂胶显影设备>电子束曝光机> LSCE-800接触式曝光机

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LSCE-800接触式曝光机

具体成交价以合同协议为准
  • 公司名称 河南海恒实业有限公司
  • 品牌 其他品牌
  • 型号
  • 产地
  • 厂商性质 代理商
  • 更新时间 2022/9/13 14:41:33
  • 访问次数 272

联系我们时请说明是化工仪器网上看到的信息,谢谢!


河南海恒实业有限公司是中国海恒集团公司成员企业,是中国*的超短超快激光器、傅里叶红外光谱仪、拉曼光谱分析仪、微纳机电、步进式光刻机以及核辐射监测设备等科研、检测与高校教学设备代理供应商。

公司地处中国地理中心——郑州,是黄河·嵩山临依之地,郑州是华夏文明的重要发祥地,是三皇五帝活动的腹地、中华 文明轴心区。享“得中原者,得天下”的美誉。

海恒实业有限公司是众多品牌仪器设备中国制造企业的合作代理商。公司发展具有坚实的技术支撑,与高校、研究院所达成深度合作,共同围绕超短超快激光及成像系统、拉曼光谱和微纳机电与光刻技术等新技术开展深入研究。能够向用户提供专业的技术指导、方案规划和项目实施。公司时刻以向用户提供高品质的产品和服务为己任,始终以解决客户实际需求为宗旨;持续向客户提供优质的产品及完善的售后服务。

 

 

 

光谱检测仪器;微纳机电与光刻技术实验仪器;水质、核辐射检测设备;激光系列设备销售

一、产品简介:

接触式曝光机指掩膜板直接与基板的光刻胶层接触,曝光出来的图形与掩膜板上的图形分辨率相当精确,设备简单,最小线宽可达800nm;可以配合使用多种型号的正光阻和负光阻;适用于从特殊大小的基片到4尺寸很宽广范围材料的紫外或深紫外光曝光。可广泛应用于半导体制造,光电电子,平板,射频微波,衍射光学,微机电系统,凹凸或覆晶设备和其他要求精细印制和精度对准的应用。

二、应用领域:

半导体制造;光电电子、平板;射频微波,衍射光学;微机电系统;凹凸或覆晶设备等。

三、产品特点:

分辨率相当精确;

l 更广范围的紫外光波长选择;

l 支持恒定光强或恒定功率模式;

l 广泛应用于半导体、微电子、生物器件和纳米科技领域;

四、详细参数:

晶片尺寸

4英寸、6英寸、8英寸

曝光光源

365nm、380nm、395nm三种波长的LED集成光源

分辨率

3μm

对准精度

300 nm

缩放倍率

1:5

曝光方式

接触式曝光

特征尺寸均匀性(CDU)

±10%

尺寸

170 cm*130 cm*180 cm


河南海恒实业有限公司



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