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QRUI-2系列探针台

具体成交价以合同协议为准
产品标签

探针台

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上海骐锐信息科技有限公司专注于行业领域,高低温介电常数/高低温下电性能测试系统/工业自动化/精密仪器/航空航天高性能材料测试系统、传感器生产与技术服务。我们以技术创新为核心驱动力,致力于为客户提供高效、智能、定制化的设备解决方案,助力全球客户提升生产效率、优化产品质量并实现可持续发展。

核心技术优势:

✅ 研发实力

拥有一支由资深工程师、行业专家及高校科研团队组成的复合型研发团队,累计获得多项发明专利及实用新型专利

✅ 技术亮点

自主研发核心产品技术,如:高低温下介电常数/材料电性能高低温测试/模块化设备架构/能耗优化系统等。

采用数字化仿真/工业大数据分析/虚拟调试等先进技术,缩短研发周期30%以上。

✅ 产学研合作

与高校/科研院所名称建立合作,共同攻关行业关键技术难题。

 

产品与服务体系:

🔹 核心产品线

1. 智能生产线集成:面向制造业的自动化装配、检测及自动化测试系统。

2. 专用设备定制:材料测试系统、半导体精密加工设备、新能源电池模组封装设备等。

3. 智能运维平台:设备远程监控、预测性维护及数据分析服务。

🔹 服务模式

- 全生命周期支持:从需求分析、方案设计到安装调试、售后维保的一站式服务。

 

成功案例

研发的设备型号获奖项/认证

服务覆盖行业领域,如:汽车制造/生物医药/光伏新能源头部企业

我公司与以下国内外厂商建立了长期合作关系:日本安立公司、美国泰克Tektronix 公司、南京盛普、Sample 公司 、美国福禄克Fluke 公司、北京普源精电 、Rigol公司、美国安捷仑Agilent公司、中国台湾茂迪Motech公司、美国艾法斯 Aeroflex公司、 中国台湾固纬Goodwill公司、美国吉时利Keithley公司、日本岩崎Iwatsu公司、美国国家仪器NI公司、日本爱德万 Advantest公司、美国Magtrol公司、德国惠美Hameg公司、韩国Tescom公司、安徽41所、韩国金进 Jungjin公司、常州同惠等。

 

 

电子仪器仪表 材料测试

QRUI-2系列探针台产品简介:

     是一款适用于4-12英寸晶圆的精密探针台。该系列探针台采用高刚性显微镜龙门设计 ,结构稳定。显微镜平移台可进

行X-Y-Z方向精密位移调节 ,显微镜放大倍率高 ,操作方便。同时支持多种功能的升级 ,非常适合晶圆级的测试应用。该产品主要应用于集成电路/芯片/MEMS器件/管芯晶圆/LED/LCD/太阳能电池等行业的测试及研究领域。在科研单位和半导体工厂都得到了广泛运用。


QRUI-2系列探针台产品优势:

     显微镜具备高刚性龙门支架且搭配气动升降,保证高质量光学成像质量。 Platen三阶抬杆,便于样品和探针快速分离 ,也可以用于探针卡的扎针。可升级性强 ,最高可升级 220G 高频 ,也可以集成光电流扫描成像或拉曼-瞬态荧光寿命成像系统等。载物台气浮快速移动,可快速定位测试样品


详细参数:

 

术参数

产品型

QRUI-2-100

QRUI-2-150

QRUI-2-200

QRUI-2-300

 

 

 

电压电流(可定制)

500V/1A(标准)

500V/1A(标准)

500V/1A(标准)

500V/1A(标准)

材料

航空铝

自适减震系统

具备自适应减震系统      一定程度上可防止外界震动的干扰

卡盘大小

4" ,360度转动, 可微调

6",360 度转动  ,可微调

8",360 度转动,可微调

12",360 度转动 ,可微

卡盘行程和精度

4"*4"  ,精度 1um气浮快速移动

6"*6"  ,精度 1um气浮快速移动

8"*8"  ,精度  1um气浮快速移动

12"*12  ,精度 1um气浮快速移动

卡盘升降功能

ChuckZ轴升降10mm,精度为1um

卡盘吸附方式

真空吸附 , 可选择环形吸附或者多孔吸附   (适用于薄片或者射频器件)

背电极测试功能

样品台电学独立悬空   4mm 香蕉头插口

U 型平台  ,镀镍  与探针座之间具备更强吸附力

升降

三阶抬杆,接触,分离和架杆;微调行程为30mm,分辨率为1um

最多可放置4~6个探针座

最多可放置8~10个探针座

 

 系统

显微镜成像系统

体式显微镜/视频显微镜/金相显微镜+CCD 成像系统

率范围

15X~100X/60X~420X/20X~4000X

显微镜行程

具备高性龙门架结构  气动升降   XYZ 行程分别为 2 英寸*2 英寸*2 英寸  ,   精度 1um

CCD 成像系统

200 万/500万像素  ,帧率 60fps ,带拍照/录像/测量功能

DMP-200/100/80/75

X-Y-Z 行程

12mm-12mm-12mm

机械精度

0.5um/0.7um/2um/3um

电精度

10pA/100fA/20fA

接口形式

蕉头/鳄鱼夹/coax/triax接口/SMA/裸线等

屏蔽箱/防震桌/射频/同轴/三轴加热卡盘/探针卡/光电流显微镜/大功率

力需求

220V/50HZ

详细配置方案可讨论后给




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