MKS ASTeX AX8560 臭氧发生器 ASTeX AX8560 OZONE Generator
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- 公司名称 江苏神州半导体科技有限公司
- 品牌 MKS/美国
- 型号 MKS ASTeX AX8560
- 产地
- 厂商性质 经销商
- 更新时间 2023/11/23 13:55:45
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| 产地类别 | 进口 | 应用领域 | 化工,电子/电池,电气,综合 |
|---|---|---|---|
| 型号 | ASTeX?AX8560 | M/N | AX8560 |
| 设备状态 | Refurblished |
MKS 臭氧发生器 ASTeX AX8560 OZONE Generator 是专为低流量，高臭氧浓度的如ALD等应用设计的。AX8560结合MKS的高浓度、超清洁臭氧产生技术，集成臭氧浓度监测，流量控制，以及所有独立操作所需的仪表和调节器。该子系统结构紧凑，重量轻，可以独立，机架安装或集成到AX8555多通道臭氧输送系统。
优秀的MKS臭氧发生器电池技术通过无声放电将纯氧转化为臭氧，达到可用的高臭氧浓度水平。AX8407 只需要掺入微量的氮气，远远低于其他臭氧发生器所需的氮气水平，因此最终产生的如氮氧化物之类的污染物的含量是很低的。
MKS 臭氧发生器 ASTeX AX8560 OZONE Generator 规格
类型：臭氧气体发生器
臭氧输出：26~180g/hr
流速：0.5~5slm
原料气：6级或是更好的氧气；20~100ppm 5级或更好的氮气
额定腔室压力：10~45psig（0.7~3.1bar）
压力：20~30psig
水冷温度：17~23℃
水冷过滤：100微米
水冷水质：电阻率≥50KΩ/cm
水冷流量：0.95~6.65L/min
AC输入：208VAC（±10%），3 phase，5~12A MAX，50/60Hz
设备重量：40kg（88LB）
尺寸规格：482 * 429 * 267 mm
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