AE Pinnacle Plus Pinnacle Plus 直流电源 10KW DC Power
- 公司名称 江苏神州半导体科技有限公司
- 品牌 Advanced Energy/优仪
- 型号 AE Pinnacle Plus
- 产地
- 厂商性质 经销商
- 更新时间 2023/11/24 11:42:49
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| 供货周期 | 现货 | 货号 | 3152436-101 |
|---|---|---|---|
| 应用领域 | 化工,电子/电池,电气,综合 | 主要用途 | 机柜直流电源模块 |
| 型号 | Pinnacle?plus | M/N | 3152436-101 |
| 输出功率 | 10KW | 设备状态 | Refurblished |
AE Pinnacle Plus Series 脉冲直流电源采用易于集成的封装，为反应工艺提供脉冲直流解决方案的各种优势，可提高过程效率、降低成本，同时具有出色的灵活性和自由度。与复杂昂贵的交流电源解决方案相比，AE Pinnacle Plus Series 电源设备结合了标准直流技术和脉冲直流技术，可提供更高的沉积率、更高的可重复性能和出色的薄膜质量。
AE Pinnacle Plus 直流电源 10KW DC Power Supply 可在反向脉冲期间清除电荷，防止产生电弧，通过频率和占空比控制调节工艺，该系列电源设备采用紧凑型风冷设计，可在主/从配置中扩展。
AE Pinnacle Plus 直流电源 10KW DC Power Supply 技术参数
Power
Single Output ：1.5 kW HALO (high accuracy, low output), 5 kW (single- and dual-output models), 10 kW
Dual Output ： 5/5 kW, independently controlled
Voltage
Up to 800 VDC in a single, wide voltage range (no taps)
Frequency
Adjustable from 0 Hz (DC) to 350 kHz
Repeatability
+/- 0.1% of rated power
Accuracy
+/- 1% of setpoint or +/- 0.2% of full rated power (whichever is greater)
Communication Interfaces
Analog, RS-232/485, Profibus
AC Input
208, 400, and 480 VAC models available
优点
1.更高的沉积速率和良品率
2.出色的薄膜均匀性和质量
3.减轻电弧导致的衬底伤害
4.优秀的工艺灵活性和自由度
5.高重复性的表现
特点
1.频率可在5~350KHz范围内调节
2.可变占空比可达45%
3.宽电压范围 - 单输出宽阻抗范围
4.出色的电弧控制
5.可选双输出，用于多真空腔生产
采购中心
化工仪器网