NS-Z700-01 超大行程Z轴物镜定位台 压电平台
- 公司名称 三英精控（天津）仪器设备有限公司
- 品牌 其他品牌
- 型号 NS-Z700-01
- 产地
- 厂商性质 生产厂家
- 更新时间 2022/7/1 14:42:38
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| 产地类别 | 国产 | 产品种类 | 电动 |
|---|---|---|---|
| 价格区间 | 面议 | 应用领域 | 医疗卫生,化工,生物产业,电子,综合 |
三英精控（天津）仪器设备有限公司是一家专注于精密运动控制技术和产品的开发，并致力于为科学研究、创新研发及精密仪器、设备的制造等提供系统的技术解决方案与集成，满足市场对精密运动控制技术需求的专业制造商。
公司核心技术集精密传感、精密驱动、精密机械、精密控制、精密集成等各领域的技术于一体，综合技术指标已达到*水平。
主要产品：纳米级运动平台系列；微米级宏动系列；纳米位移电容传感器系列；宏微运动集成系统
纳米定位平台
纳米运动控制技术是由光、机、电、控制软件等多领域技术集成的运动控制技术。内部由一个或多个压电陶瓷作为驱动，其产生单轴或者多轴的运动；通过柔性铰链技术将压电陶瓷产生的运动传递和放大；经超精密电容传感器将运动信息传递给控制系统，再由控制系统对该运动进行修正、补偿和控制；在对运动系统进行闭环控制时，可实现纳米、亚纳米级别的运动分辨率和运动控制精度。
三英精控纳米台特点
平：得益于*的硬件设计，有效地减少三维偶联影响，保证纳米台全行程的平整度。
准：电容传感器的应用及*的控制模式和算法，保证纳米台的运动精度。
稳：优异的机械结构设计以及优良的电容传感器特性，保证了纳米台长时间的稳定性。
NS-Z700-01超大行程Z轴物镜定位台 压电平台 典型应用：
晶圆切割
显微成像
微电子精密加工
物镜调焦及扫描
可定制不同的物镜接口
技术参数：
型号 | NS-X700-01 |
运动轴 | Z |
传感器类型 | 电容式 |
闭环行程( μm ) | 700 |
闭环分辨率( nm ) | 5 |
线性度( % ) | 0.3 |
无负载下谐振频率( Hz ) | 93 |
端口 | D-sub15 |
材料 | 铝合金 |
负载( kg ) | 0.8 |
自重( kg ) | 0.24 |
尺寸( mm ) | 77 x 40 x 67.5 |
适配控制器 | SC100-A/SC300-1/SC400-1 |
注：闭环分辨率与带宽有关。
如有客户需求，三英精控可以对纳米位移运动控制系统进行量身定制，以提供及时、满意的技术支持与服务。
超大行程Z轴物镜定位台 压电平台
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