型号 | TG390M | TG420M | TG900M | TG1300M | TG2400M | |
法兰 | 吸气口ISO-R/CF | 100 | 160 | 160 | 200 | 250 |
排气口 | KF25 | KF25 | KF40 | KF40 | KF40 | |
排气速度 | N2（附加金属过滤网） | 320L/s | 370L/s | 860L/s | 1230L/s | 2300L/s |
H2 | 290L/s | 300L/s | 1050L/s | 1200L/s | 1100L/s | |
大压缩比 | N2 | 1×108 | 1×108 | 1×108 | 1×108 | 1×108 |
H2 | 4.3×103 | 4.5×103 | 1.5×104 | 1.5×104 | 1.5×103 | |
极限压力 | ISO-R/CF | ＜1×10-6Pa/＜1×10-7Pa | ＜1×10-6Pa/＜1×10-7Pa | ＜1×10-6Pa/＜1×10-7Pa | ＜1×10-6Pa/＜1×10-7Pa | ＜1×10-6Pa |
可达气体流量 | N2（sccm） | 2000 | 2000 | 3000 | 3000 | 3000 |
推荐辅助泵 | ≥160L/min | ≥160L/min | ≥250L/min | ≥250L/min | ≥500L/min | |
容许辅助压力 | 400Pa | 400Pa | 500Pa | 500Pa | 200Pa | |
重量Kg | ISO-R/CF | 14/17 | 14/17 | 34/42 | 34/42 | 45/54 |
TG390M/TG2400M 磁悬浮轴承型复合分子泵 TG-M系列
具体成交价以合同协议为准
- 公司名称 上海盈炽商贸有限公司
- 品牌 其他品牌
- 型号 TG390M/TG2400M
- 产地
- 厂商性质 经销商
- 更新时间 2023/11/9 15:03:05
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| 泵轴位置 | 其他 | 输送介质 | 其他 |
|---|---|---|---|
| 叶轮数目 | 多级 | 应用领域 | 生物产业,石油,能源,电子,制药 |
磁悬浮轴承型复合分子泵 TG-M系列使用磁悬浮轴承实现无油的排气，而且维护周期长。提供排气速度300L/s～3400L/s的产品。
TG-M系列磁悬浮分子泵产品型号：TG390M、TG420M、TG900M、TG1300M、TG2400M。
特点：
任意方位安装
轻巧设计
节能
分子泵停止与启动时间短
附带维护警报机能
低振动
无需调整
自动校准
可控制转子旋转速度
大流量排气
多种通信模式
符合安全规格 NRTL/SEMI-S2/CE
应用：
半导体制造
电子枪排气，离子源排气
FPD制造
表面处理，表面改质
各种电子部件的制造
分析，试验装置
管球制造，光学部件制造
加速器，放射线设施，核聚变研究
热处理
研究开发
磁悬浮轴承型复合分子泵 TG-M系列技术规格：
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