P-733.3CDP 德国PI Physik Instrumente 光学实验位移台

德国PI Physik Instrumente 光学实验位移台 压电陶瓷纳米定位器 P-733.3CDP

德国PI PHYSIK INSTRUMENTE 压电陶瓷纳米定位器 P-733.3CDP

应用领域：

扫描显微镜

共聚焦显微镜

掩模/晶圆定位

表面测量技术

纳米压印

显微操纵

图像处理/稳定

产品参数：

型号：P-733.3CDP

主动轴：X、Y、Z

集成传感器：电容式

-20至120 伏时的开环行程：115 微米×115 微米×12 微米

行程，闭环：100 微米×100 微米×10 微米

分辨率，开环：0.2（Z向上为0.1）纳米

分辨率，闭环：0.3（Z向上为0.2）纳米

线性误差（X、Y）：0.03%

线性误差（Z）：0.03%

重复精度（X、Y）：<2纳米

重复精度（Z）：<1纳米

螺距（X、Y）：<±3微弧度

偏转角（X、Y）：<±10微弧度

Z向运动时的倾斜：<±5微弧度

刚度：1.4（Z向上为9）牛/微米

谐振频率，空载：460（Z向上为1400）赫兹

带120 克负载时的谐振频率：340（Z向上为1060）赫兹

带200 克负载时的谐振频率：295（Z向上为650）赫兹

运动方向上的推/拉力：50/20牛

德国PI Physik Instrumente 光学实验位移台 压电陶瓷纳米定位器 P-733.3CDP