Alpha-Step D-600 D系列探针式台阶仪

KLA的D系列探针式台阶仪Alpha-Step D-600，可测量纳米至1200um台阶高度，并可分析薄膜表面粗糙度、波纹度、应力。且其具有5.0A (1σ)或0.1%台阶高度重复性以及亚埃的分辨率。

   二、 功能

  设备特点

   台阶高度：几纳米至1200μm

   低触力：0.03至15mg

   视频：500万像素高分辨率彩色摄像头

   梯形失真校正：消除侧视光学系统引起的失真

   圆弧校正：消除由于探针的弧形运动引起的误差

   紧凑尺寸：小占地面积的台式探针式轮廓仪

   软件：用户友好的软件界面

   主要应用

   台阶高度：2D台阶高度和3D台阶高度

   纹理：2D粗糙度和波纹度

   形式：2D翘曲和形状

   应力：2D薄膜应力

    应用域

   大学，研究实验室和研究所

   半导体和复合半导体

   SIMS：二次离子质谱

   LED：发光二管

   太阳能

   MEMS：微电子机械系统

   汽车

   医疗设备

   三、应用

   台阶高度

  Alpha-Step D-600探针式轮廓仪能够测量从几个纳米到1200μm的2D和3D台阶高度。 这使其可以量化在蚀刻、溅射、SIMS、沉积、旋涂、CMP和其他工艺期间沉积或去除的材料。Alpha-Step 系列具有低触力功能，可以测量如光刻胶的软性材料。

   纹理：粗糙度和波纹度

   D系列探针式台阶仪Alpha-Step D-600测量2D和3D纹理，量化样品的粗糙度和波纹度。 软件过滤功能将测量值分离为粗糙度和波纹度的部分，并计算诸如均方根（RMS）粗糙度之类的参数。

   外形：翘曲和形状

  Alpha-Step D-600可以测量表面的2D形状或翘曲。这包括对晶圆翘曲的测量，例如在半导体或化合物半导体器件生产过程中，多层沉积层结构中层间不匹配是导致这类翘曲产生的原因。 Alpha-Step还可以量化包括透镜在内的结构高度和曲率半径。