OPUS3
度,快速的指标时间,高吞吐量。 可以装入探头卡。
容貌
. 空间效率的压缩尺寸
· 通用探头卡交换器 · 可靠的温度控制
· 坚固和坚固的Z结构
· 地图转换预防
· 实时食谱验证
· 智能针定位算法
· 智能探路算法
· 适用于的脚印 的平装机
· 与所有类型测试器兼容
规格说明
名称 | Opus3 |
晶片尺寸 | 8 & 12 inch(6”option) |
X,Y探矿区 | X : ±175mm |
Y : ±165mm | |
针力 | 300Kg |
XY精度 | X : ±1㎛ |
Y : ±1㎛ | |
三殿 | 环境至 150°C(200°C) |
-55℃ ~ 200℃ | |
环境 25°C |
Opus3是市场上一个能处理6,8英寸,12英寸SEMI标准晶圆的处理器,没有任何更换套件。 它紧凑,具有较高的接触/探准确
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