产地类别 | 国产 | 应用领域 | 电子/电池,航空航天 |
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探针台体 | 4英寸样品台,移动行程100mm,升降10mm | 显微镜 | 体视显微镜、单筒显微镜 |
探针座 | 2.0um精度探针座 | 探针夹具 | 三轴夹具,漏电精度100fA |
产品介绍
名称:探针台
型号:Y-4
应用:晶圆、芯片、LED测试、场晶体管、IGBT、分立器件等
测试类型:IV/CV测试、RF测试、光电测试等
搭配仪器:吉时利2400系列、4200系列、安捷伦B2900系列、1500系列等
特点:高性价比探针台,满足手动探针台的测试需求,可测4英寸晶圆,移动行程、观察视野、扎针范围可覆盖整个4英寸晶圆,可升级高温、射频、光纤测试
产品参数: | |||
规格 | 标准配置 | 可选配置 | |
台 体 | 样品台 | 4英寸 | 6英寸 |
样品台材质 | 不锈钢 | 铝合金、黄铜镀金 | |
样品台是否接地 | 样品台对地绝缘,可做背电极使用 | 样品台接地 | |
样品吸附 | 真空吸附,三个独立开关控制 | ||
样品台XY移动行程 | 105mm*105mm | ||
样品台XY移动精度 | 高精密导轨,10um移动精度 | ||
样品台旋转 | 360度旋转,±10度可微调 | ||
样品台升降 | 10mm升降行程 | ||
针座平台 | 含磁不锈钢,表面电镀防生锈氧化 | ||
探 针 座 | 探针座数量 | 2个 | 3至6个 |
探针座移动行程 | XYZ均为12mm | 25mm*25mm*12mm | |
探针座移动精度 | 2.0um | 5.0um、1.0um、0.7um、0.6um、0.5um | |
探针座测试类型 | 直流测试 | 射频测试、光谱测试 | |
探 针 夹 具 | 探针夹具数量 | 2个 | 3至6个 |
探针夹具接头 | BNC三轴公 | BNC同轴公、香蕉头、SMA | |
探针固定方式 | 管状固定 | 弹簧固定 | |
可耐电压 | 1000V | ||
可耐电流 | 10A | ||
漏电精度 | 100fA | ||
探 针 | 探针材质 | 钨钢 | 铍铜、镀金 |
探针针尖 | 针尖半径0.5um至100um可选 | ||
探针类型 | 直流探针 | 射频探针 | |
显 微 镜 | 显微镜类型 | 三目体视显微镜 | 单筒显微镜 |
显微镜倍率 | 16X-100X | 10X-400X | |
显微镜移动 | 绕立柱360度旋转,视野可覆盖整个样品台 | ||
显微镜升降 | 50mm | ||
工业 相机 | 显示器 | 11.6寸 | 21寸等其他尺寸 |
工业相机 | 1200万像素,HDMI高清接头 | ||
拍照、录像 | 可拍照、录像 | ||
测量 | 接电脑可测量 | 直接在显示器上测量 | |
保存 | SD卡保存 | ||
真空泵 | 真空泵 | *无油 | |
其他可选配置:屏蔽箱、光学平台、高温配件、射频配件、光纤配件、转接头、转接线 |