NX2000 日立FIB-SEM三束系统
具体成交价以合同协议为准
- 公司名称 北京宣毅科技有限公司
- 品牌 Hitachi/日立
- 型号 NX2000
- 产地
- 厂商性质 经销商
- 更新时间 2023/6/20 11:07:07
- 访问次数 1042
联系方式:李女士4008803660 查看联系方式
联系我们时请说明是化工仪器网上看到的信息,谢谢!
主营燃料电池测试系统,旋转环盘电极、氢标准电极,气体扩散电极,高电阻电压计、零欧电流计、电解池、法拉第屏蔽箱等与电化学相关的设备及配件, 并且为客户提供完整的电化学解决方案,针对特殊应用提供量身定制的非标设备!
产地类别 | 进口 | 应用领域 | 医疗卫生,环保,生物产业,农业,能源 |
---|
日立FIB-SEM三束系统追求的TEM样品制备工具
在设备及高性能纳米材料的评价和分析领域,FIB-SEM已成为*的工具。
近来,目标观察物更趋微细化;更薄,更低损伤样品的制备需求更进一步凸显。
日立高新公司,整合了高性能FIB技术和高分辨SEM技术,再加上加工方向控制技术以及Triple Beam®*1(选配)技术,推出了新一代产品NX2000
运用高对比度,实时SEM观察和加工终点检测功能,可制备厚度小于20 nm的超薄样品
FIB加工时的实时SEM观察*2例
样品:NAND闪存
加速电压:1 kV
FOV:0.6 µm
加工方向控制技术(Micro-sampling®*3系统(选配)+高精度/高速样品台*)对于抑制窗帘效应的产生,以及制作厚度均一的薄膜类样品给予厚望。
加工方向控制
常规加工时
Triple Beam®*1(选配)可提高加工效率,并能使消除FIB损伤自动化
EB:Electron Beam(电子束)
FIB:Focused Ion Beam(聚焦离子束)
Ar:Ar ion beam(Ar离子束)
项目 | 内容 |
---|---|
FIB镜筒 | |
分辨率 | 4 nm @ 30 kV、60 nm @ 2 kV |
加速电压 | 0.5~30 kV |
束流 | 0.05 pA ~ 100 nA |
FE-SEM镜筒 | |
分辨率 | 2.8 nm @ 5 kV、3.5 nm @ 1 kV |
加速电压 | 0.5~30 kV |
电子枪 | 冷场场发射型 |
探测器 | |
標準検出器 | In-lens 二次电子探测器/样品室二次电子探测器/背散射电子探测器 |
样品台 | X:0 ~ 205 mm Y:0 ~ 205 mm Z:0 ~ 10 mm R:0 ~ 360°连续 T:-5 ~ 60° |