Chem 20™ 化学品粒子计数器

微电子工艺需要非常洁净的工艺化学品，该粒子计数器需要经过高度过滤，适用于≤20nm的粒子。 PMS Chem 20化学式粒子计数器具有20 nm的粒子灵敏度，是目前灵敏度最高的高纯度工艺化学品粒子传感器。

来自化学品输送和包装系统的广泛数据证明，与其竞争产品相比，具有20nm灵敏度的PMS Chem 20传感器统计出的颗粒浓度较大，数据具有统计意义。 Chem 20化学颗粒计数器是非常有用的工具，在化学颗粒源影响工艺和设备性能之前，便能够快速检测化学颗粒源。

化学品粒子计数器特点

• 新增离线采样功能

• 良好的激光光学和检测器使检测化学物质的灵敏度达到20 nm

• 自带化学流量计用于设定样品流量

• 针对不同折射率的化学品进行监测，以提高数据可靠性：
     Chem 20：适用于折射率较低的化学品
     Chem 20-HI：适用于硫酸和其他折射指数较高的化学品

• 内部泄漏监测：在内部化学品泄漏时提供报警

• 低流量监测器和报警器，以确保数据一致

• 宏观气泡探测器用于保护传感器性能

• 本地数据显示

化学品粒子计数器优点

• 实时监测20 nm PSL和9 nm Au微粒

• 监测影响良率的粒子（竞争技术无法达到）

• 在扫描表面或得到数据之前，快速响应粒子偏移

• 优化化学品输送系统，覆盖从装卸码头到加工节点的整个过程

• 改善样本的数据统计，加强过程工艺控制

• 针对不同洁净度的产品，使用两种视图模式优化仪器操作，拓展产品应用空间

• 传统数据采集系统能够灵活通信

• 便捷的在线和离线20nm监测

应用

• 化学输送系统内的实时粒子监测

• 流程监控点

• 化学包装操作监控

• 化学过滤器性能和效率描述

• 化学处理部件的性能测试

• 化学品质量验证

   

化学品粒子计数器的操作步骤  

1、准备状态1.1电源开关处于弹出位置。1.2采样嘴与自净口用软管连接。1.3将打印机用打印扁带线与后面板的打印接口连接;  

1.4，220V交流电源接人插座，并接通电源。  

粒子计数器预热按下电源开关电源指示灯亮检测周期1min指示灯亮，多功能显示屏上出现“READY”字样  

3、粒子计数器使用按测量键，仪器即开始一个检测周期。此时，仪器指示灯和量程指示灯亮，气泵开始工作，流量计指示流量，多功能显示屏显示原来的“READY”字样消失，开始显示粒子数(若原来显示时间则仍显示时间，直到再次按时钟/粒径键才开始显示粒子数)。  

4、(将出厂时的密封软管接头从采样嘴拔下)将采样管一端与相接，另不端接上喇叭口，(附件)，旋动流量调带钮，将浮子上端面调至2.83L/min刻线处;仪器便可以开始测试。为了防止管道内壁吸附的尘埃粒予影响测量结果，应放过一至二遍测量数据测量计数可分总数和窗口两种  

5、打印5.1测量结果需打印时，可按打印键这时打印指示灯表示检测周期结束后，粒子计数器即可自动打印出测量结果第二次打印键打印指示灯打印命令解除。  

直接用仪器对电池进行充电：  

将电池插入仪器的电池槽，关好电池仓盖。  

将外接电源的出口端插入仪器上的24VDC电源输入端。  

将外接电源的输入端插入交流电插座，此时仪器上的电池状态灯闪烁。  

当充电完成，电池状态指示灯常亮。  

从交流电插座上拔下外接电源的输入端插头，然后从仪器上拔下输出端插头。  

警告：请注意外接电源插拔顺序！  

使用充电器对电池充电