1200℃ CVD管式炉 气相传输炉
- 公司名称 上海高科达电炉有限公司
- 品牌 其他品牌
- 型号
- 产地
- 厂商性质 生产厂家
- 更新时间 2022/1/17 16:37:01
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| 产地类别 | 国产 | 加热方式 | 含钼电阻丝 |
|---|---|---|---|
| 价格区间 | 面议 | 控温精度 | ±1℃ |
| 内部尺寸 | 80x450mm | 升温速度（达到最高温） | 20℃min |
| 仪器种类 | 管式炉 | 应用领域 | 化工,地矿,能源,建材,电子 |
| 最大功率 | 2000W | 最高温度 | 1200℃ |
1200℃ CVD管式炉 气相传输炉
产品概述
GKD-CVD系列1200℃ CVD管式炉 气相传输炉是由管式炉加热系统，多通道混气系统和真空系统组成；温度可以达到1700度，可以做单温区，双温区，三温区等多温区；混气系统流量调节可以是质量流量计或者浮子流量计，混气路数有2路，3路，4路，5路等相混合，可以将多种气体进行精确地混气后导入到管式炉内的反应室中反应。管式炉采用双层风冷结构，炉膛采用高纯氧化铝陶瓷纤维高温真空吸附成型，由两个半圆形炉体结构合成，方便开启；温控系统采用工业精度0.2级智能仪表，PID智能30段控温，控温精度高，安全可靠；加热元件采用HRE含钼电阻丝/硅碳棒/硅钼棒，加热速率快，耐高温，抗氧化，耐腐蚀；
产品用途
广泛用于半导体工业中沉积薄膜材料、提纯物质、研制新晶体、淀积各种单晶、多晶或玻璃态无机薄膜材料，以及大多数金属材料和合金材料、二维材料等，如碳化硅镀膜、陶瓷基片导电率测试、ZnO纳米结构的可控生长、陶瓷电容（MLCC）气氛烧结等CVD工艺实验。是高等院校，科研院所和工况企业进行气氛烧结，气氛还原、CVD实验的理想设备；多温度是化学气相传输（CVT）实验的理想设备。
技术参数
产品名称 | CVD气相沉积系统 |
产品型号 | GKD-CVD |
结 构 | 双层风冷结构 |
混气系统 | 1-5路浮子流量计（可选质量流量计）配置在移动工作台上，可同时通入1-5路不同的气体，1-5通道自动控制，精度0.02%，数字显示 内置混气罐，底部装有泄废液口，每路气体管路均配有逆止阀 MFC 1 范围 0-100sccm MFC 2和3 范围 0-500sccm 进气接口 1/4NPS 出气接口1/4NPS |
真空系统 | 一个双旋片机械真空泵安装在移动架内，通过此真空泵，真空度可以达到5x10^-2 torr 在移动架内安装四级泵（配分子泵），可以使得真空度达到7x10^-5Pa LED数字式真空显示计（测量范围0.1mtorr~850torr） |
电 源 | 220V 50/60Hz |
功 率 | 6kw |
额定温度 | 1200℃（可做1400℃或1700℃） |
工作温度 | 1100（1300℃或1600℃） |
升温速率 | 0-20℃/min |
加热区长度 | 450mm（可根据客户需求定制） |
多温区 | 支持（具体请咨询业务人员） |
控温方式 | 51段PID智能微电脑可编程控制 |
控温精度 | ±1℃ |
加热元件 | 高纯含钼电阻丝 |
炉管尺寸 | φ80x1200mm（根据需要定制） |
测温方式 | K型热电偶 |
炉管材质 | 石英管（大于1200℃用高纯刚玉管） |
炉膛材料 | 一层: 1800型多晶氧化铝陶瓷纤维。保证炉膛足够的强度，又确保具有良好的隔热效果。 |
温控保护 | 具有超温保护和断偶预警功能 |
可通气体 | 氮气、氩气、二氧化碳、空气、水蒸气等非可燃性气体 |
密封系统 | 炉管两端配置不锈钢密封法兰，法兰上安装有数字真空显示计，连接阀门通过真空泵，压力可以达到5x10^-2 torr，压升率6mtorr/min |
可选配件 | 炉管，不锈钢密封法兰，热电偶，耐高温手套，坩埚钳，密封圈 |
质保期 | 1年质保，终身维护 |
耗材 | 炉管，密封圈，热电偶，加热元件 |
设备标准尺寸
型号 | 炉管直径 | 加热区长度 | 功率 | 额定温度 | 炉管 | 热电偶 | 加热元件 |
40mm | 300mm | 3 KW | 1200℃ 1400℃ 1700℃ | 石英管 刚玉管 | K型 S型 B型 | 高纯含钼电阻丝
硅碳棒 硅钼棒 | |
60mm | 300mm | 3 KW | |||||
80mm | 300mm | 5 KW | |||||
100mm | 300mm | 5 KW | |||||
120mm | 300mm | 6 KW | |||||
40mm | 400mm | 3 KW | |||||
60mm | 400mm | 3 KW | |||||
80mm | 400mm | 5 KW | |||||
100mm | 400mm | 5 KW | |||||
120mm | 400mm | 6 KW |
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