激光干涉仪 机床校准设备

机床校准设备

激光器的出现，使古老的干涉技术得到迅速发展，激光具有亮度高、方向性好、单色性及相干性好等特点，激光干涉测量技术已经比较成熟。激光干涉测量系统应用非常广泛：精密长度、角度的测量如线纹尺、光栅、量块、精密丝杠的检测；精密仪器中的定位检测系统如精密机械的控制、校正；大规模集成电路设备和检测仪器中的定位检测系统；微小尺寸的测量等。 
在大多数激光干涉测长系统中，都采用了迈克尔逊干涉仪或类似的光路结构。
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