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Nanotronics nSpec Macro 微流控缺陷检测

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微流控缺陷检测

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岱美有限公司(Dymek Company Ltd ,下面简称岱美)成立于1989年,是一间拥有多年经验的高科技设备分销商,主要为数据存储、半导体、光通讯、高校及研发中心提供各类测量设备、工序设备以及相应的技术支持,并与一些重要的客户建立了长期合作的关系。自1989年创立至今,岱美的产品以及各类服务、解决方案广泛地运用于香港,中国台湾,中国大陆,泰国,菲律宾,马来西亚及新加坡等地区。

岱美在中国大陆地区主要销售或提供技术支持的产品:

晶圆键合机、纳米压印设备、紫外光刻机、涂胶显影机、硅片清洗机、超薄晶圆处理设备、光学三维轮廓仪、硅穿孔TSV量测、非接触式光学三坐标测量仪、薄膜厚度检测仪、主动及被动式防震台系统、应力检测仪、电容式位移传感器等。

岱美重要合作伙伴包括有:n&k Technology ; Veeco di, Wyko, Dektak, IBE, IBD, MTI; Imago; 4D; First Nano; GatanSagitta; AXIC; Tamarack; Thermo Noran; Magnetic Recording Solutions; Schmitt; EVG; Shb; SPTS; ADE; CETR; Contrade; DeWeyl; Filmetrics - Greater China; Global Optron; Herz; Innovative Instrumentation Incorporated; LESCO; Microphysics; OSC; Palomar; PPL JPS; Strasbaugh; Tru-Si; VIC; Westbond; Diamond Innovations; Innovative Organics;nPoint;Photonic Cleaning Technology

如有需要,请联系我们,了解我们如何开始与您之间的合作,实现您的企业或者组织机构长期发展的目标。



膜厚仪,轮廓仪,EVG键合机,EVG光刻机,HERZ隔震台,Microsense电容式位移传感器

产地类别 进口 应用领域 医疗卫生,生物产业,制药,综合

微流控缺陷检测产品简介

1、nSpec Macro是一种快速自动晶圆宏观检测仪,无论您有多特殊的晶圆检查要求,我们都能提供一系列解决方案来让您获得快速的结果。这种紧凑的系统设计用于对200 mm以下的晶圆进行高通量宏观检查。 以毫米为单位,nSpec Macro可以自动检测并量化从50到100微米的众多缺陷,这取决于视场或晶圆尺寸。
2、nSpec Macro可以照亮样品的整个面,或设置照明角度和/或离散照明矢量。 明场,暗场,正交和可配置的倾斜照明角度与可单独配置的LED,配合使用可调节照明的强度,颜色和位置。
3、该系统会自动导出CSV文件,并且与SECS / GEM兼容,也可以根据客户要求进行定制。

自动化晶圆处理功能

所有Nanotronicsn Spec Macros都装有满足行业标准要求的晶圆装载机。Nanotronics创造了末端执行器,可将整个单个晶圆和/或带有的晶圆加载进去。每个末端执行器都是根据客户的需求设计的。
光学特性
暗场照明模式照明角度:0度
倾斜照明模式照明角度:0至80度
明场照明模式照明角度:90度
正交照明模式照明角度:90度(通过镜头)
晶圆装载机
一次运行1个卡夹:标准H型卡夹
标准晶圆尺寸:50、75、100、150或200mm
控制软件
配方易于配置,并可以根据需要保存。可以按顺序进行多次扫描,并且在照射角度,强度和波长方面具有*的灵活性。
系统参数
重量:62kg
尺寸(宽x深x高):67厘米 x 74厘米 x 65厘米
蕞小真空要求:20 in.Hg
电源:110v / 220v,3.5安培




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