OTF-1200X-PESDSF-50 双炉体滑动PECVD系统-循环手套箱
具体成交价以合同协议为准
- 公司名称 上海添时科学仪器有限公司
- 品牌 其他品牌
- 型号 OTF-1200X-PESDSF-50
- 产地
- 厂商性质 代理商
- 更新时间 2024/4/11 10:12:50
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产品标签
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产地类别 | 国产 | 应用领域 | 环保,能源,电子 |
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电源 | AC220,50Hz |
手套箱特点:
•真空法兰在手套箱的左边,与PECVD系统的石英管连接;
•两个炉体在一个滑轨上,可通过炉体的滑动达到对样品快速加热和快速冷却的效果!
加热炉参数:
•连续工作温度:1100℃
•两个炉体都可设置30段升降温程序
•高纯氧化铝纤维作为炉膛材料(表面涂有高温氧化铝涂层,可提高加热效率延长炉膛使用寿命)
•电源:AC220,50Hz 最大功率:3KW
手套箱参数:
•带有除水系统:保持水含量<2ppm
•真空法兰在手套箱的左边,与PECVD系统的石英管连接
射频电源:
真空系统:
•·采用TRP-12的双旋真空泵;
•KF25卡箍及波纹管用于连接管式炉与真空泵;
•真空度可达10-2Torr。
供气系统(可选):
•客户可选购四通道质子流量计控制系统实现气体流量的精确控制(精确度:±0.02%);
•流量范围:
•气体进出口配件:6mmOD的聚四氟管或不锈钢管;
•不锈钢针阀用于手动控制气体进出;
•PLC触摸屏可以简便地进行气体流量设置。
产品尺寸:
炉体尺寸:1600mm(L)-430mm(W)-500mm(H)
手套箱尺寸:780mm(L)-700mm(W)-650mm(H)
质保:
一年保质期,终身维护,不包括炉管,硅胶密封圈和加热元件