SJ6000 激光干涉仪量程精度

激光干涉原理

激光干涉仪

除了环境适应能力好，激光干涉仪还可以进行动态高速测量，选配相应的功能模块元件后还可以测量振动幅度、平面度、线速度、角速度等。中图仪器研发生产SJ6000激光干涉仪量程精度高。

产品参数

测量分辨力：1nm

动态采集频率：50KHz

预热时间：≤6分钟

工作温度范围：（0-40）℃

环境温度范围：（0-40）℃，环境湿度：0-95%

主要特点：应用范围广、测量精度高、操作方便

SJ6000激光干涉仪量程精度

稳频精度：0.05ppm

线性测量精度：0.5ppm（0-40）℃

线性测量距离：（0-80）m（无需远距离线性附件）

角度测量精度：±不低于±0.04% ±0.5 ±0.1M µm/m

产品特点

SJ6000激光干涉仪集光、机、电、计算机等技术于一体：

采用高速干涉信号采集、调理及细分技术，可实现高4m/s的测量速度，以及纳米级的分辨率；

采用进口高性能氦氖激光器，其寿命可达50000小时；

采用高精度环境补偿模块，可实现激光波长和材料的自动补偿；

采用激光双纵模热稳频技术，可实现高精度、抗干扰能力强、长期稳定性好的激光频率输出；

采用高性能计算机控制系统及软件技术，支持中文、英文和俄文语言，友好的人机界面、向导式的操作流程、简洁化的记录管理。

应用领域

SJ6000激光干涉仪以光波为载体，其光波波长可以直接对米进行定义，是高精度、高灵敏度测量仪器，广泛应用于精密机械设备、精密检测仪器、三坐标、机器人、3D打印设备、机床、自动化设备、线性位移平台等领域的线性测量。

测量机床回转轴精度

测量机床偏摆角度

数控机床精度校准

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