| 供货周期 | 一周 | 规格 | 13.56MHz |
|---|---|---|---|
| 应用领域 | 医疗卫生,化工,生物产业,能源,电子/电池 | 主要用途 | 真空镀膜、等离子清洗、磁控溅射、等离子去胶 |
| 功率等级 | 1KW |
射频电源 射频功率发生器：
优点 | 功能 |
· 更长的制程正常运行时间 · 更高的操作简易性和灵活性 · 无需定制组件提前期的定制化性能 · 长期的使用简易性，节省成本 · 优质的服务和支持 | · 精簡的流线型设计 · 标准的平台包装 · 高效率——低发热量 · 200和400 VAC 的输入选择 · 两个模拟用户端口选择 · RS-232、以太网、和 Profibus 通讯 · 多功能前面板 · 便利、全面的操作菜单 · CEX（相位同步）操作模式 · 遵循 SEMI™（符合或超过标准） 射频电源 射频功率发生器： |
| 产品型号 (Cesar-1310) | |
| 参数 | 指标 |
信号频率 | 13.56MHz +/- 0.005% |
输出功率 | 10W-100W |
反射功率极限 | 200W |
射频输出连接器 | 50欧，N型母头 |
谐波分量 | -50dBC |
脉冲频率 | 1-30KHz |
脉冲占空比 | 1-99% |
同步功能 | 有 |
同步信号输入要求 | 0-10dBm |
同步信号输出指标 | 3-10dBm |
同步接头 | 50欧，BNC，母头 |
LCD显示屏 | 256x132像素，黑/白 |
互锁功能 | 有 |
反射功率保护 | 有 |
过温保护 | 有 |
过流保护 | 有 |
散热方式 | 强制风冷 |
交流输入 | 220VAC,50/60Hz |
交流电流&功率 | 6.5A,1490W（满功率输出） |
整机效率 | 66% |
功率因数 | 97%-99% |
安装标准 | 19英寸机柜安装 |
重量 | 19.5kg |
安装间隙 | 两侧60mm间隙（供风冷散热需要） |
机械尺寸 | 88 mm (h) x 483 mm (w) x 500 mm(d) |
采购中心
化工仪器网