FPNAN-NS-3500 高速共焦激光扫描显微镜
- 公司名称 孚光精仪(中国)有限公司
- 品牌 其他品牌
- 型号 FPNAN-NS-3500
- 产地
- 厂商性质 经销商
- 更新时间 2022/3/29 14:54:12
- 访问次数 597
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产地类别 | 进口 | 价格区间 | 面议 |
---|---|---|---|
应用领域 | 医疗卫生,化工,生物产业,电子 |
这款高速共焦激光扫描显微镜(CLSM),用于精确可靠的三维(3D)测量。通过快速光学扫描模块和信号处理算法实现了实时共焦显微图像,广泛用于微纳尺度的台阶高度测量,宽度测量,长度测量等。广泛用于半导体晶片、平板产品、MEMS器件、玻璃基板、材料表面等微观三维结构的测量和检测。
高速共焦激光扫描显微镜特点
-高分辨率无损光学三维测量
-实时共焦成像
-各种光学变焦
-同时亮场和共焦成像
-具有精细自动聚焦的自动增益搜索
-倾斜补偿
-简易分析模式
-精密可靠的高速测高
-通过半透明基板检查特征
-无样品制备
-宽范围检测的图像拼接
高速共焦激光扫描显微镜应用
这款共焦显微镜可以测量微纳结构的高度,宽度,角度,面积,体积,比如·
半导体领域:IC图案、凸起高度、线环高度,缺陷检查,CMP工艺
FPD产品:触摸屏检查,ITO图案,LCD列间隔高度
MEMS设备–结构的三维轮廓,表面粗糙度,MEMS图形
玻璃表面-薄膜太阳能电池,太阳能电池纹理,激光图形
材料研究-工装表面检查,糙度、裂纹分析
高速共焦激光扫描显微镜规格参数
规格 | 显微镜 | NS-3500 | Remark | ||||
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控制器 | NS-3500E | ||||||
物镜倍数 | 10× | 20× | 50× | 100× | 150× | ||
观察 /测量范围 | 水平 (H): μm | 1400 | 700 | 280 | 140 | 93 | |
竖直 (V): μm | 1050 | 525 | 210 | 105 | 70 | ||
工作距离: mm | 16.5 | 3.1 | 0.54 | 0.3 | 0.2 | ||
竖直孔径 (N.A.) | 0.30 | 0.46 | 0.80 | 0.95 | 0.95 | ||
光学放大 | ×1 ~ ×6 | ||||||
总放大 | 178× ~ 26700× | ||||||
观察/测量的光学系统 | 小孔Pinhole共聚焦光学系统 | ||||||
高度测量(台阶模式) | 测量扫描范围 | Fine scan : 100 μm (and/or) Long scan : 7 mm [NS-3800-L] | Note 1 | ||||
Fine scan : 400 μm (and/or) Long scan : 10 mm [NS-3800-D | |||||||
Fine scan : 200 μm (or) Long scan : 10 mm [NS-3800-T] | |||||||
显示分辨率 | 0.001 μm | ||||||
重复精度 σ | 0.010 μm | Note 2 | |||||
宽度测量 | 显示分辨率 | 0.001 μm | |||||
重复精度3σ | 0.02 μm | Note 3 | |||||
帧内存 | 像素计数 | 1024×768, 1024×384, 1024×192, 1024×96 | |||||
共聚焦图像图像 | 12 bit | ||||||
彩色图像 | 8-bit for RGB each | ||||||
高度测量 | 16 bit | ||||||
帧频 | 表面扫描 | 20 Hz to 160 Hz | |||||
线扫描 | ~8 kHz | ||||||
自动功能 | 自动聚焦 | ||||||
光束光源 | 波长 | Violet laser, 405 nm | |||||
输出 | ~2 mW | ||||||
激光光源 | Class 3b | ||||||
激光探测器 | PMT (photomultiplier tube) | ||||||
数据处理 | Dedicated PC | ||||||
供电要求 | 供电要求 | 100 to 240 VAC, 50/60 Hz | |||||
电流消耗 | 500 VA max. | ||||||
重量 | 显微镜 | Approx. ~ 8 kg | |||||
控制器 | ~8 kg |
Note 1 :
Fine scan is performed by piezoelectric actuator (PZT).
Dual scan mode by fine and long scanner is available only for single lens type.
Note 2 :
100 times measurement of standard sample (1μm step height) with 100× / 0.95 objective.
Note 3 :
100 times measurement of standard sample (5μm pitch) with 100× / 0.95 objective.