QFR-NOTE系列 精密气浮转台
- 公司名称 北京瑞邦精控科技有限公司
- 品牌 其他品牌
- 型号 QFR-NOTE系列
- 产地 北京
- 厂商性质 生产厂家
- 更新时间 2023/12/1 17:58:41
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产地类别 | 国产 | 产品种类 | 电动 |
---|---|---|---|
价格区间 | 面议 | 应用领域 | 生物产业,电子,航天,电气,综合 |
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背景介绍
精密气浮转台提供高定位精度、高速度稳定性和纳米级跳动。该设计满足生物检测、晶圆检测、高精度计量、X射线衍射系统、光学检测和制造等行业。
密封式设计
精密气浮转台进行了优化设计,使工作台面降到低,这种设计结构有效的降低了工作点的高度,大减少因与其他轴叠层引起的阿贝误差。密封式结构具有高刚度和大负载承重,不仅有较低的轴向和径向端跳误差,而且倾角误差也比较小,由此产生的面误差明显优于其它气浮转台或气浮主轴,实现超精密转台的应用。
非接触式结构
采用无齿槽无刷电机和气浮轴承,大限度的提高了定位性能。电机采用*的磁路设计,以小的热量产生高扭矩输出,无齿槽设计固有的零齿槽效应和扭矩波纹折射,这使得非常适合在低速或高速下平滑快速旋转等应用。
高精度性能
采用精密圆光栅反馈,*的驱动控制对光栅栅距细分,分辨率达0.01角秒,轴向跳动误差100nm。
定制化设计
定制可安装滑环,用于空间模拟装置,MEMS和惯性导航等应用。
规格指标
型号 | 单位 | QFR-NOTE100 | QFR- NOTE200 | QFR- NOTE300 | |
行程 | degree | 360 | |||
台面直径 | mm | 66 | 148 | 248 | |
定位精度 | Plus值 | arc sec | ±1 | ||
标准值 | ±3 | ||||
双向重复定位精度 | Plus值 | arc sec | ≤1 | ||
标准值 | ≤1.5 | ||||
轴向跳动误差 | Plus值 | nm | 100 | ||
标准值 | 250 | ||||
径向跳动误差 | Plus值 | nm | 100 | ||
标准值 | 300 | ||||
电子分辨率 | arc sec | 0.01 | |||
速度(空载) | rpm | 300 | |||
负载 | Kg | 20 | 40 | 70 | |
供气压力 | MPa | 0.5±0.05 |