OTF-1200X-RTP-II-5R 5英寸近距离旋转蒸发镀膜炉

·快速升温，最高达10℃/s。

·最高温度可达800℃。

·由两组红外灯管作为加热元件，分别位于顶部和底部，两温度控制器进行独立控温。

·两样品台距离以及旋转均可通过触摸屏控制。

·顶部载样台可旋转。

·工作温度∶最高800℃，两个加热区之间的最大温差为300℃

·最快升温速率∶ 10 ℃/s· 冷却速率∶ >10 ℃/s（800-300℃）

·真空度∶20Pa（机械泵），10E-1Pa（分子泵）

·控温精度∶+/-0.1℃（欧陆表）

· 加热元件∶红外灯管

·最大功率∶ 10KW（>50A保险）

· 热电偶∶ K热电偶

·超温和断偶保护

·设备电源∶ AC220V/50HZ 单相

·由两组红外灯管作为加热元件，分别位于顶部和底部· 两个加热台之间的距离可以通过直流电机调节（触摸屏控制）· 顶部载样台转速可调，0-10 r/min（触摸屏控制）

·为了减少热量辐射和达到较快的冷却速率，加热元件安装在带有水冷夹层的不锈钢壳体中（不锈钢壳体采用316不锈钢制作）·采用导热率较高的氮化铝陶瓷片（5"×5"×0.5mm厚度）作为载样台，以达到较好的加热均匀性

·真空法兰为316不锈钢制作

·顶部法兰（可通过控制盒进行上升和下降）∶一机械压力表

一KF16接口，可以安装防腐真空计两个不锈钢精密针阀用于气体的进出

·底部法兰∶

一KF25接口，可以与真空泵相连接法兰是通过两个硅胶o型圈进行密封

790mm*600mm*1100mm