全自动12英寸多腔体快速退火炉RTP
| 参考价 | ¥ 5000000 |
| 订货量 | ≥1套 |
具体成交价以合同协议为准
- 公司名称 量伙半导体设备（上海）有限公司
- 品牌 其他品牌
- 型号
- 产地
- 厂商性质 生产厂家
- 更新时间 2021/4/22 17:12:43
- 访问次数 336
联系我们时请说明是化工仪器网上看到的信息，谢谢!
| 产地类别 | 国产 | 应用领域 | 综合 |
|---|---|---|---|
| 退火温度均匀性 | ±1% | 降温速率 | 30℃/s |
| 温度范围 | 1000℃ | 退火温度准确性 | 0.5℃ |
| 最高升温速率 | 100℃/s | 样品尺寸 | 最大支持 300mmx300mm 样品 |
| 仪器种类 | 高真空快速退火炉 |
设备规格:
全自动操作模式，机械手臂自动上片取片；
多腔体生产模式，单个腔体适应于 2英寸-12英寸 晶圆或者*支持 300mmx300mm 样品；
退火温度范围 300℃-1000℃；
升温速率 ≦100℃/sec(裸片)；
温度均匀性 ≦±1%；
真空腔体（可选配常压腔体或正压腔体）；
冷却方式包括水冷和氮气吹扫；
MFC控制，3-5路制程气体。
应用领域:
快速热处理(RTP)，快速退火(RTA)，快速热氧化(RTO)，快速热氮化(RTN)；
离子注入/接触退火；
金属合金；
热氧化处理；
化合物合金（砷化镓、氮化物等）；
多晶硅退火；
太阳能电池片退火；
高温退火；
高温扩散。
采购中心
化工仪器网