Sentech多层膜厚测量仪SENpro

Sentech多层膜厚测量仪SENpro具有操作简单，测量速度快，能对不同入射角的椭偏测量数据进行组合分析等特点。可测量1nm~15μm的薄膜。SENpro的光谱范围与精密的SpectraRay/4软件相结合，可以轻易地确定单层膜和复合层叠膜的厚度和折射率。

步进扫描分析器

Sentech多层膜厚测量仪SENpro具有*的步进扫描分析器。在数据采集过程中，偏振器和补偿器固定，以提供高的椭偏测量精度。

具有成本效益的桌面式SENpro包括可见光到近红外椭偏仪光学，5°步进角度计，样品台、激光准直器、光纤耦合稳定光源和探测器单元。

可变入射角

光谱椭偏仪SENpro包括可变入射角的角度计，40°—90°，步进值5°，用于优化椭偏测量。

SENpro配备了用于系统控制和数据分析的光谱椭偏仪软件SpectraRay/4 ，用于包括建模，拟合和报告输出。即使对于初学者，该程序文件操作都非常容易。SpectraRay/4 支持计算机控制的用于均匀性测量的自动扫描。

SENpro专注于薄膜测量的速度和精度，不管是何种薄膜应用。测量范围从1 nm的薄层膜到15 μm的厚层膜。

对于各种各样的应用，SpectraRay/4都提供了预定义的配方。

可见光-近红外段的光谱椭偏仪

光谱范围：370 nm - 1050 nm

测量单层/多层膜的膜厚、折射率、消光系数

全光谱范围测量时间<10秒（>500个波长点)可变入射角，40 - 90°，步进值5°

高稳定光源

步进扫描起偏器

宽带补偿器

激光准直器

可调高度/俯仰样品台

光电二极管阵列探测器

SpectraRay /4椭偏测量/分析软件

可选项：

Mapping自动扫描：50 x50-200 x 200 mm2

自动准直透镜ACT

软件SpectraRay/4

建模

测量参数可以模拟作为波长、光子能量、倒数厘米、入射角、时间、温度、薄膜厚度测量和其他参数的函数

自动扫描

我们光谱椭偏仪的自动扫描的选项具有预定义或用户定义的模式、广泛的统计以及数据的图形显示，如2D颜色、灰度、轮廓、+/-偏离平均值和3D绘图。

交互模式

设定测量参数并开始薄膜厚度测量

通过从材料库或从已有的散射模型中拖放来构建模型

定义和改变参数以将计算的光谱与实测光谱拟合

交互式改进以实现模型

通过从预定义或定制的模板中进行选择，将结果作为word文档报告输出

将所有实验数据、协议和记录保存在同一个实验文件中

配方模式

1.选择

2.从材料库执行预定义的配方。

该配方包括厚度测量参数、模型、拟合参数和报告模板。