SE400adv sentech透明膜膜厚仪激光椭偏仪

Sentech激光椭偏仪 SE400adv-太阳能电池膜厚测量仪

sentech透明膜膜厚仪激光椭偏仪

在测量太阳能电池粗糙表面反射膜方面，有出色的表现。

非接触光学测量，可测量薄膜厚度、折射率、吸收系数、偏振角度。

高稳定性和精度。由于其具有稳定激光光源、温度补偿装置、起偏器跟踪和极低噪声探测器。

光学自动准直设计。

快速、简单易操作，可选择应用特定的入射角度。

支持多角度测量，以便分析更复杂的样品和更准确的厚度。

多角度激光椭偏仪 SE400advanced 能够测量薄膜厚度及其光学常数，使用 632.8nm 波长氦氖激光器，具有*的精度和准确度。SE400advanced可用来测量单层、多层和大尺寸材料。SE400advanced 的功能基于椭圆偏振光原理，一种使用激光偏振光的非接触光学反射测量方式。

由于 sentech透明膜膜厚仪激光椭偏仪SE400advanced *、易用、Recipe 模式导向和功能强大的软件，SE400advanced 能够满足研发需求和生产中的质量控制需求。它包含了大范围的应用，比如微电子学、III-V 半导体、生物和生命科学、显示技术、磁介质、金属处理和其他应用。对ψ,∆的高灵敏度测量和极低噪声探测器，使其能够测量非理想的、散射的、粗糙表面的膜层，比如太阳能电池表面的减反射膜的测量。

SE400advanced 被设计用来将椭偏仪测量理论的全部潜能发挥到极限。由于 SE400advanced 具有高稳定补偿器、电脑控制的稳定旋转分析器和自动定位起偏器，能够测量极薄的膜层，也能够测量各种吸收基底或透明基底上的粗糙表面薄膜。

SE400advanced 包含了一个高性能、精密的手动角度计，确保了在较短测量时间内的多角度测量，以便分析复杂样品。

SE400advanced 是简洁紧凑的设备，能够快速启动并运行。通过以太网连接的 PC 或笔记本电脑对设备进行控制。新的操作系统和 PC 会被使用。

SE400advanced 软件描述

必要的测量和分析步骤被优化，使过程被简化到只需操作单个按钮就能够完成强大测量功能。预先定义的应用Recipe能够让使用变得简易。由于可以利用所提供的全面的材料数据库，能够很轻松的添加或更改测量Recipe。SE400advanced 软件支持本地化，能够支持不同的语言：英语（默认），德语。其他使用西里尔字母和亚洲字母的语言也能够被很好的支持。

技术指标：

波长： 632.8 nm 氦氖激光器 (Class 1 device)

90°位置 时ψ,∆精度：δ(ψ)=0.002° δ(∆)=0.002°

长期稳定性：δ(ψ) = ±0.01° ；δ(∆)= ±0.1°

膜厚测量精度：0.1 Å for 100 nm SiO2 on Si

折射率测量精度：5x10-4 for 100 nm SiO2 on Si

透明薄膜的厚度范围：最大4 µm

弱吸光性薄膜厚度范围 (多晶硅)：最大2 µm

膜层数量：默认: 在基底或多层膜上的1-3层膜

测量时间：120 ms ….. 1.5 s (决定于测量方式)

设置：PCSA with Compensator

高稳定性补偿器Compensator, 可得到 0° 和180°附近∆的高精度

电脑控制的起偏器 Polarizer，定位/探测，自动校准高稳定旋转分析器Analyzer

激光束直径：1 mm

入射角： 手动角度计40° - 90°, 步进值5°

样品对准：用于样品倾斜角度和高度手动调整的自动校准镜(ACT)

选项： 自动对焦

样品载物台：可调节高度和角度的样品台，150mm直径

选项:-真空吸盘

- x-y 地形图扫描载物台

设置和保养：椭偏仪的自动校准, 保养模式包括自检

维护:自动的内部维护程序，检查绝大多数部件的正常工作

PC, 显示器 ：新型商用计算机，鼠标，键盘，, 以太网卡,Windows XP操作系统，使用TFT液晶显示器

软件： SENTECH 公司的 SE 400 椭偏仪软件

预先定义的应用模式：比如：

- 硅上的介质膜

- 砷化镓上的介质膜

- 玻璃上的有机薄膜

- 硅上的自然氧化膜

- 砷化镓上的自然氧化膜

标准测量 Recipe

单角度入射(40 度到 85 度间的固定角度)

多角度入射(40 度到 85 度间的角度, 步进值 5°)

材料库包含:

电介质, 弱吸收薄膜, 晶体和非晶半导体, 金属, 有

机物， 玻璃，石英和其他