DS-X真空炉供气系统

ZDS-X多路质子流量计控制供气系统

系统应用：

ZDS-X多路质子流量计控制供气系统是实现多种气体不同流量混合配比的供气系统

设备组成：

多路进气管路、质子流量计、混气罐、出气管路组成

产品特点：

几路进气客户自由定制，标准接口，方便连接

液晶触摸屏控制输入每路气体流量，实时查看各路气体流量曲线

每条气路均设置高压截止阀，方便切断气路

技术参数：

气体通路：X条客户自由定制

气体类型：客户自由选择

流量计量程：5—500SCCM；1—10SLM自由选择

工作电压：220v/50Hz

工作压差：0.1-0.5MPa

最大压力：3MPa

准确度：±1.0%F.S

质子流量计相应时间：＜1S

测量范围：0.1-0.15MPa

混气罐：304不锈钢

进出气接口：直径6mm不锈钢卡套接口

管道：内部管道采用直径6mm不锈钢管；外部管采用6mm聚四氟管

控制系统：PLC控制系统，液晶触摸屏输入，每路气路独立控制

FDS-X多路浮子流量计控制供气系统

系统应用：

FDS-X多路浮子流量计控制供气系统是实现多种气体不同流量混合配比的供气系统

设备组成：

多路进气管路、浮子流量计、混气罐、出气管路组成

产品特点：

几路进气客户自由定制，标准接口，方便连接

手动调节浮子流量计，方便快接

每条气路均设置高压截止阀，方便切断气路

技术参数：

气体通路：X条客户自由定制

气体类型：客户自由选择

流量计量程：10-100ml/min；25-250ml/min；50-500ml/min自由选择

压力表：-0.1MPa---0.15MPa，0.01MPa/格

混气罐：304不锈钢

进出气接口：直径6mm

管道：内部管道采用直径6mm不锈钢管