DVIO-MO系列主动隔振光学平台

说明：
DVIO-MO系列主动隔振光学平台为韩国 DAEIL（大一）株式会社生产的主动隔振光学平台，由台面和主动隔振支撑两部分组成。
台面采用真蜂窝三层夹心式结构，上台面为 430 系列高导磁不锈钢，台面按照25mmX25mm 孔距均布 M6 螺纹孔，方便安装仪器，每个螺纹孔下方具有独立的隔离杯，方便清洁。中间是真蜂窝支撑结构，是把 0.25 毫米厚度的钢板加工成蜂巢的结构，增加了台面结构的密度，减小体积，采用先进的粘合工艺，坚固耐用。台面的底部和侧板用钢板作为主体材料，具有非常好的动态和静态的刚性。
主动隔振支撑部分主要包括了被动隔振机构和主动隔振器 DVIA-M，每个支撑里面一般会有 4 个 DVIA-M 系列主动隔振器和一台主控箱。主动隔振器包含了采集信号的传感器和消除振动的驱动器，主要消除 0.5-10Hz 的外部振动 , 被动隔振系统部分同时承担着支撑负载和隔绝高频率振动的作用。
这个系列的平台可以在低频范围（0.5-10Hz）提供非常好隔振性能，它可以应用于很多对振动要求非常高，甚至具有挑战的领域，比如高分辨率的光谱仪、高分辨率电子显微镜和精密纳米科学研究和制备等。

DVIO-MO系列主动隔振光学平台特点：
• 具有非常好的隔振性能，特别是在低频2Hz-10Hz达到90%以上的隔振效率。
• 采用惯性传感器，可以检测出六个自由度的振动，并做补偿。
• 采用真蜂窝三层夹心式结构台面，厚度可选100/200/300mm。
• 进口精密主动隔振光学平台。
• 隔振性能优异，广泛应用于扫描探针显微镜，原子力显微镜，扫面隧道显微镜，激光干涉仪 ，半导体检测设备，三维形貌分析仪和激光共聚焦显微镜等。

主动隔振光学平台技术指标：
• 隔振频率：0.5~100Hz
• 自动平衡，响应时间短，平衡速度快
• 钢蜂巢内核：钢制蜂窝芯，钢板厚度0.25mm,每个蜂巢面积3.2cm²
• 表面平整度：±0.1mm /600mm×600mm
• 台面：4.0mm厚度430 系列高导磁不锈钢
• 底面：4.0mm厚钢板，表面氧化处理

边墙板：2.0mm厚钢板，包裹高阻尼聚乙烯材料
• 孔径： M6 (英制螺孔可选)
• 孔距：25mmX25mm(英制孔距可选)，最外边孔距平台边缘
37.5mm
• 螺孔密封：每个螺纹孔下方设有柱形隔离杯密封，方便清洁
• 阻尼隔振方式：宽带阻尼
选型表：